[发明专利]一种基于光电型薄膜芯片的电气火灾监测系统

说明书

本发明涉及一种电气火灾监测系统，具体涉及一种基于光电型薄膜芯片的电气火灾监测系统，由α‑Ga₂O₃/β‑Ga₂O₃相结薄膜芯片、电火花光电探测外围电路、蜂鸣器以及网络通讯模块组成；所述的α‑Ga₂O₃/β‑Ga₂O₃相结薄膜芯片，包括α‑Ga₂O₃薄膜、β‑Ga₂O₃薄膜、Ti/Au薄膜电极以及蓝宝石衬底，其中α‑Ga₂O₃薄膜在β‑Ga₂O₃薄膜的上方，厚度为200‑300nm，β‑Ga₂O₃薄膜的厚度为200‑300nm，并形成α‑Ga₂O₃/β‑Ga₂O₃相结薄膜芯片，蓝宝石衬底作为制备β‑Ga₂O₃薄膜的衬底，所述的α‑Ga₂O₃薄膜面积为β‑Ga₂O₃薄膜面积的一半，所述的Ti/Au薄膜电极位于α‑Ga₂O₃薄膜和β‑Ga₂O₃薄膜表面，形状为边长2.0毫米的正方形，Ti薄膜电极厚度为20‑30nm，Au薄膜电极在Ti薄膜电极的上方，厚度为60‑90nm。本发明电气火灾监测系统可实现远程监测和报警，可应用于远程电气火灾报警和高压输电线电晕监测。

技术领域

本发明涉及一种电气火灾监测系统，具体是指一种基于光电型薄膜芯片的电气火灾监测系统及其制作方法。

技术背景

有效的检测火灾，使得火灾初始阶段被发现，对后续工作有绝对的优势，目前的紫外探测器，灵敏度低，易受阳光干扰，造成火灾报警不及时。因此，研究开发一种能准确、有效地探测到电火花信号，在第一时间发现火灾源头，防范于未“燃”的远程火灾监测报警系统是当下安防领域所迫切需要的。

为了避免太阳光的干扰，市场上的常用紫外探测器需要增加滤波器，排除太阳光的影响来降低误报率，这些附件一般体积大，易碎价格贵，增加了探测器的复杂程度和制造成本，也使得探测器的适用范围大为缩小。因此，低成本、高便捷和小型化的日盲型紫外探测器是未来电气火灾防御的重要研究方向。Ga₂O₃是一种新型的宽禁带半导体材料，带隙约为4.9eV(对应的波长为254nm)，具有极高的热稳定性和化学稳定性，可以工作在恶劣环境，是一种非常有前景的深紫外日盲探测材料。用这类器件制作的日盲紫外探测器可以检测电火花中存在，而太阳光中不存在的日盲波段紫外光，极大地降低误报率。本发明设计的基于光电型薄膜芯片的电气火灾监测系统可以将电气火灾报警信息发送到移动通讯终端，实现远程报警。

发明内容

本发明的目的是提供一种对日盲紫外波段选择性好、光响应稳定性高、可以将电气火灾报警信息发送到移动通讯终端，实现远程报警的电气火灾监测系统。