[发明专利]一种可快速测量极低露点的冷镜式露点仪

权利要求书

1.一种可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：包括：

气路系统，包括测试腔(1)、采样管路(2)和辅助增湿单元，所述测试腔(1)包括进气口(101a)和出气口(101b)，采样管路(2)连接于进气口(101a)，采样管路(2)侧壁轴向依次开设有两个开口，所述辅助增湿单元包括增湿管路(3)和电磁阀(4)，增湿管路(3)两端连接于采样管路(2)两个开口，电磁阀(4)设于增湿管路(3)端口和采样管路(2)的开口之间设有用于控制增湿管路(3)和采样管路(2)之间通断；

光路系统，包括发射光源(5)、镜面(6)和光敏接收器(7)，镜面(6)位于测试腔(1)内部，发射光源(5)照射镜面(6)，反射光被光敏接收器(7)接收；镜面(6)底部设有用于测量镜面(6)温度的测温电阻(8)；

制冷系统，用于对镜面(6)进行降温，包括半导体制冷器(9)和为半导体制冷器(9)做预制冷处理的压缩机制冷器(10)，半导体制冷器(9)的冷端连接于镜面(6)底部，半导体制冷器(9)的热端安装在压缩机制冷器(10)的蒸发器上；

控制系统与气路系统、光路系统和制冷系统均电连接，用于控制电磁阀(4)的开合；用于采集光敏接收器(7)的光电信号和测温电阻(8)的温度信号并根据光电信号和温度信号控制制冷系统对镜面(6)的制冷及加热，使镜面(6)上的冷凝层达到动态平衡状态，用于采集冷凝层动态平衡状态时测温电阻(8)的温度信号，即露点温度。

2.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述增湿管路(3)由尼龙材料制成。

3.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述测试腔(1)包括底座(101)和设于底座(101)上的顶盖(102)，底座(101)两侧设有进气口(101a)和出气口(101b)，顶盖(102)底端内凹与底座(101)构成中空腔室(103)，镜面(6)位于腔室(103)中，进气口(101a)和出气口(101b)与腔室(103)连通位于腔室(103)两端；发射光源(5)和光敏接收器(7)均位于顶盖(102)中，顶盖(102)中开设有用于光路传输的光路通道；所述底座(101)和顶盖(102)可拆分式密封连接；所述测试腔(1)采用合金材料氧化处理加工而成且测试腔(1)内部黑化处理。

4.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述采样管路(2)为内部高精度抛光的不锈钢管路。

5.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述镜面(6)采用铜材料，其表面镀铑或镀金；镜面(6)下部和半导体制冷器(9)之间设有铜块，测温电阻(8)设于铜块中；测温电阻(8)为铂热电阻。

6.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述气路系统还包括设于测试腔出气口(101b)的压力传感器(11)和流量计(12)。

7.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述半导体制冷器(9)由四级半导体制冷片堆叠而成。

8.根据权利要求1所述的可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其特征在于：所述压缩机制冷器(10)包括压缩机、冷凝器和蒸发器；压缩机吸入从蒸发器出来的低压力的蒸汽，压缩使之压力升高后送入冷凝器，在冷凝器中冷凝成压力较高的液体，经过膨胀后，成为低压力的液体后，送入蒸发器，在蒸发器中吸热蒸发而成为低压力的蒸汽，再送入压缩机，完成制冷循环。