[发明专利]一种高精度的四氯化锗鼓泡装置

权利要求书

1.一种高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，包括特气分配柜、蒸发设备控制组件、蒸发罐、喷灯、通风排气组件，以及向所述蒸发罐通入四氯化锗原料的第一管道和第二管道、向所述蒸发罐通入氩气的第三管道、由所述蒸发罐蒸发出蒸发气体的第四管道、连通所述第三管道和第四管道的第五管道、向所述喷灯通入蒸发气体的第六管道、向所述通风排气组件排气的第七管道和第八管道，所述第一管道和第二管道两端连接所述特气分配柜和蒸发罐，所述第三管道和第四管道一端与所述蒸发罐连接，所述第六管道两端连接所述喷灯和所述第四管道的另一端，所述第七管道和第八管道两端连接所述通风排气组件和第六管道；

所述蒸发罐罐体上设置上、下两块液位窗口，位于上方的液位窗口用以标记液位一，位于下方的液位窗口用以标记液位二；

所述第一管道、第二管道、第三管道、第四管道、第五管道、第六管道和第八管道上分别设置有第三自动阀、第四自动阀、第五自动阀、第六自动阀、第七自动阀、第八自动阀和第九自动阀，所述第一管道上设置有第一调压阀，所述第二管道上设置有手动阀和第二调压阀，所述第七管道上设置有比例电磁阀；

还包括可编程逻辑控制器，所述特气分配柜和第三管道、第四管道上分别设有第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器，所述第一压力传感器、第三自动阀、第四自动阀与所述可编程逻辑控制器相连，所述第一压力传感器记录压力并反馈可编程逻辑控制器以调节所述第三自动阀、第四自动阀，所述第二压力传感器、第三压力传感器、比例电磁阀与所述可编程逻辑控制器相连，通过所述第二压力传感器、第三压力传感器反馈给可编程逻辑控制器的电信号大小以调节所述比例电磁阀。

2.根据权利要求1所述的高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，还包括设置在所述第三管道进端的质量流量控制器，质量流量控制器进端连接有氩气输入管和氮气输入管，所述蒸发设备控制组件连接并控制所述质量流量控制器以控制氩气和氮气的输入量。

3.根据权利要求2所述的高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，所述氩气输入管和氮气输入管上分别设置第一自动阀和第二自动阀，沉积时，所述第二自动阀控制氩气进入所述第三管道，沉积结束时，所述第一自动阀控制氮气进入并吹扫第三管道、第五管道和第八管道。

4.根据权利要求1所述的高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，所述第五自动阀用于控制氩气流进所述蒸发罐，所述第八自动阀用于控制所述蒸发气体流进所述喷灯。

5.根据权利要求1所述的高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，所述喷灯为石英喷灯。

6. 根据权利要求1所述的高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，通入四氯化锗原料时，所述第一压力传感器记录压力若低于30 psi或者超出45 psi，所述第一压力传感器电信号反馈所述可编程逻辑控制器以关闭所述第三自动阀、第四自动阀；通入四氯化锗原料结束后，所述第三压力传感器记录压力若压力超出20 psi，所述第三压力传感器电信号反馈给所述可编程逻辑控制器以调节所述比例电磁阀。

7. 根据权利要求6所述的高精度的四氯化锗鼓泡装置，其特征在于，所述蒸发设备控制组件包括声光警报器，所述第一压力传感器记录压力若低于30 psi或者超出45 psi，所述声光警报器发出警报。