[发明专利]一种促进剂组合物在去除铜大马士革工艺中氮化钛的应用

权利要求书

1.一种促进剂组合物在去除铜大马士革工艺中氮化钛的应用，其特征在于，

所述促进剂组合物包括：氧化剂、多元醇以及纯水。

2.如权利要求1所述的应用，其特征在于：

所述氧化剂选自H₂O₂、N-甲基吗啉氧化物、过氧化苯甲酰、过氧单硫酸四丁铵、氯化铁、氟化铁、硝酸铁、硝酸锶、氟化钴、氟化锰、臭氧、高锰酸盐、高氯酸盐、碘酸、高碘酸、氧化钒、钒酸铵、钨酸铵、过硫酸盐、过氧二硫酸铵、过乙酸、过氧化脲、硝酸、次氯酸铵、氯酸铵、碘酸铵、过硼酸铵、高氯酸铵、高碘酸铵、亚氯酸四甲铵、氯酸四甲铵、碘酸四甲铵、过硼酸四甲铵、高氯酸四甲铵、高碘酸四甲铵、过硫酸四甲铵、过氧乙酸、过氧苯甲酸、四氧嘧啶、N-甲基吗啉N-氧化物、三甲胺N-氧化物中的一种或多种。

3.如权利要求2所述的应用，其特征在于：

所述氧化剂为H₂O₂。

4.如权利要求1所述的应用，其特征在于：

所述氧化剂的添加量为20wt％～80wt％。

5.如权利要求4所述的应用，其特征在于：

所述氧化剂的添加量为30wt％～60wt％。

6.如权利要求1所述的应用，其特征在于：

所述多元醇的结构通式为：C_nH_2n+2O_m，m≥2。

7.如权利要求6所述的应用，其特征在于：

所述多元醇选自甘油、季戊四醇、木糖醇、三羟甲基乙烷、三羟甲基丙烷、乙二醇、丙二醇、1,2-丙二醇、1，4-丁二醇、一缩二丙二醇、新戊二醇、二缩二乙二醇、1，6-己二醇、葡萄塘、葡萄糖醇、果糖、核糖、丁四醇、戊五醇、己六醇、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚丙二醇400、甘露醇、山梨醇中的一种或多种。

8.如权利要求1所述的应用，其特征在于：

所述多元醇的添加量为0.01wt％～20wt％。

9.如权利要求9所述的应用，其特征在于：

所述多元醇的添加量为0.1wt％～5wt％。

10.如权利要求1所述的应用，其特征在于：

所述促进剂组合物包含pH调节剂。

11.如权利要求10所述的应用，其特征在于：

所述pH调节剂包括酸性调节剂或碱性调节剂。

12.如权利要求11所述的应用，其特征在于，

所述碱性调节剂为金属离子＜10ppb的无机碱；

所述酸性调节剂为金属离子＜10ppb的无机酸。

13.如权利要求11所述的应用，其特征在于：

所述酸性调节剂选自盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸、磷酸、碳酸、硼酸、次氯酸、高氯酸、柠檬酸、水杨酸、甲酸、乙酸、丙酸、草酸、丙二酸、丁二酸、己二酸、苹果酸、马来酸、苯甲酸、邻苯二甲酸、马来酸酐、富马酸、琥珀酸、扁桃酸、抗坏血酸、亚氨基二乙酸、乳酸、氨三乙酸、羟基羧酸中的一种或多种。

14.如权利要求11所述的应用，其特征在于：

所述碱性调节剂选自季胺氢氧化物、有机胺、有机醇胺中的一种或多种。