[发明专利]蒸发源

说明书

本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；冷却装置包括冷却箱和冷却组件；冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，坩埚一一对应设置于装配槽内；冷却组件位于冷却箱上，加热装置位于冷却箱内，其中，冷却组件设置成冷却冷却箱，加热装置设置成加热坩埚。本发明所提供的蒸发源能够进行多种材料蒸镀的同时，避免不同材料之间的相互掺杂。

技术领域

本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。构成有机电致发光器件的各膜层一般通过真空蒸发镀膜形成，真空蒸发镀膜的基本原理是将镀膜材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层。

现有蒸镀装置的蒸发源虽然能够进行有机电致发光器件的制作，但是，为了满足有机电致发光器件(OLED)的高分辨率显示及大尺寸设计等需求，需要提高应用于大面积玻璃的镀膜工艺的效率。

此外，这种对应于大面积玻璃基板的线型蒸发源的有机物材料(升华性材料、液化性材料及同时具有升华性和液化性的材料等)具有不同的物理性质和化学性质，因此，还需要避免有机材料的相互掺杂。但是现有的蒸发源设备蒸镀效率低，并且同时蒸镀多种材料存在相互掺杂，从而导致显示面板制造效率低、优质率低、成本增高等问题。

发明内容

本发明提供了一种蒸发源，该蒸发源能够进行多种材料的单独或同时蒸镀，同时避免源内填装的不同材料之间的交叉污染。

本发明提供了一种蒸发源，包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；

所述冷却装置包括冷却箱和冷却组件；

所述冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，所述坩埚一一对应设置于所述装配槽内；

所述冷却组件位于所述冷却箱上，所述加热装置位于所述冷却箱内，其中，所述冷却组件设置成冷却所述冷却箱，所述加热装置设置成加热所述坩埚。

进一步的，所述冷却箱的侧壁和底壁均设置有所述冷却组件，所述加热装置围绕所述冷却箱的侧壁设置。

进一步的，所述冷却箱包括：

箱体，所述箱体设置有多个彼此独立的所述装配槽，所述冷却组件位于所述箱体上；

多个冷却内套，所述冷却内套一一对应设置于所述装配槽内，所述坩埚与所述冷却内套之间设置有所述加热装置；

其中，所述冷却组件设置成冷却所述箱体与所述冷却内套。

进一步的，所述冷却组件包括多个彼此相互连接的冷却管，且所述冷却管设置有进口与出口。

进一步的，所述加热装置包括：

加热箱，所述坩埚与所述冷却内套之间设置有所述加热箱，且所述坩埚装配于所述加热箱上；

加热件，所述加热件设置于所述加热箱的内壁。

进一步的，所述加热件为加热电偶或者加热网。

进一步的，还包括盖板和设置于所述盖板上的喷嘴；

所述盖板可拆卸连接于所述坩埚上，所述喷嘴与所述坩埚连通。

进一步的，所述冷却装置还包括：

第一板体，所述第一板体设置于所述冷却箱的上端面，并设置成固定及密封所述加热装置。

进一步的，所述冷却装置还包括：

第二板体，所述第二板体设置于所述第一板体的上端面，并设置成固定及密封所述盖板。