[发明专利]基于介电效应的电致变形装置及其制作方法

权利要求书

1.一种基于介电效应的电致变形装置，其包括载体层(13)和复合层(F)，所述复合层(F)附着于所述载体层(13)，其中，

所述复合层(F)包括三层结构，依次为电极层(11)、介电材料层(12)和电极层(11)，两个所述电极层(11)均由导体制成，所述介电材料层(12)由具有介电性能的材料制成，

所述载体层(13)包括层叠在一起的第一载体层(131)和第二载体层(132)，当所述载体层(13)的两端被固定时，所述第一载体层(131)和所述第二载体层(132)之间的应力使得所述载体层(13)形成螺旋形，

当所述装置未通电时，所述载体层(13)呈螺旋形，

当给所述装置通电后，所述装置能发生扭转。

2.根据权利要求1所述的基于介电效应的电致变形装置，其特征在于，所述载体层(13)呈弯曲的螺旋形，

当给所述装置通电后，所述装置还能发生弯曲。

3.根据权利要求1所述的基于介电效应的电致变形装置，其特征在于，所述载体层(13)的制作材料为聚二甲基硅氧烷。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基于介电效应的电致变形装置，其特征在于，所述载体层(13)有两个，两个所述载体层(13)将所述复合层(F)夹设在中间。

5.根据权利要求1所述的基于介电效应的电致变形装置，其特征在于，当把所述载体层(13)展开成平面状时，所述载体层(13)呈折线形或曲线形。

6.根据权利要求1所述的基于介电效应的电致变形装置，其特征在于，所述第一载体层(131)的制作材料为铬或金，所述第二载体层(132)的制作材料为二氧化钒或氮化硅。

7.一种基于介电效应的电致变形装置的制作方法，其特征在于，所述方法用于制作如下电致变形装置：

所述电致变形装置包括载体层(13)和复合层(F)，所述复合层(F)附着于所述载体层(13)，所述复合层(F)包括三层结构，依次为电极层(11)、介电材料层(12)和电极层(11)，两个所述电极层(11)均由导体制成，所述介电材料层(12)由具有介电性能的材料制成，当所述装置未通电时，所述载体层(13)呈螺旋形，当给所述装置通电后，所述装置能发生扭转，

所述方法包括：

利用模具浇筑出螺旋形的所述载体层(13)；以及

将所述复合层(F)粘贴到所述载体层(13)，

所述将所述复合层(F)粘贴到所述载体层(13)包括：

使用夹具将所述载体层(13)展开呈平面状；

将所述复合层(F)粘贴到呈平面状的所述载体层(13)；以及

松开所述夹具，使所述载体层(13)恢复螺旋形。

8.根据权利要求7所述的基于介电效应的电致变形装置的制作方法，其特征在于，所述载体层(13)呈弯曲的螺旋形，

当给所述装置通电后，所述装置还能发生弯曲。

9.根据权利要求7所述的基于介电效应的电致变形装置的制作方法，其特征在于，所述载体层(13)的制作材料为聚二甲基硅氧烷。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的基于介电效应的电致变形装置的制作方法，其特征在于，所述载体层(13)有两个，两个所述载体层(13)将所述复合层(F)夹设在中间。