[发明专利]一种应用于光刻机自动上板的控制方法

说明书

本发明涉及曝光设备领域，尤指一种应用于光刻机自动上板的控制方法，控制方法中具备对执行部输出的时间点进行记录与对比，而光刻机由主机控制，那么，主机在应用本发明的控制方法实现分时复用的方式，去同时操控多台光刻机，从而节约了成本并提高生产效率。

技术领域

本发明涉及曝光设备领域，尤指一种应用于光刻机自动上板的控制方法。

背景技术

经检索发现，光刻工艺是集成电路芯片制造的核心工艺，光刻机设备根据机械结构模式可分为内鼓式光刻机、外鼓式光刻机和平台式三种。

专利号201910522206.3专利名称为一种曲面光刻机，包括机架、X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板、光刻镜头、连接机构；所述X向运动模组安装于机架内，所述Y向运动模组位于于X向运动模组上方，所述X向运动模组通过连接机构驱动Y向运动模组沿Z向编码板上表面的路径向前移动，所述光刻镜头安装于Y向运动模组上且由Y向运动模组驱动沿Y轴移动。本发明中X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板配合作用，使光刻镜头以曲面工件上表面的形状为路径前进，从而完成对曲面工件上表面的逐行扫描光刻。

但是，这种，只能每次同时制作一块板，效率低下，增加设备还要增加操作人员。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种应用于光刻机自动上板的控制方法，可以解决背景技术中效率低下的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于，包含：

至少一台光刻机以及一台主机，由主机控制执行，是控制光刻机中执行部以及控制光刻机中至少一台上板组件或者下板组件上下料的控制方法，所述控制方法具备：

判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤；

判定多台上板组件在预定时间内传输的情况下，判定各个执行部是否为相同时间点输出的步骤；

判定各个执行部在相同时间点输出的情况下，主机对各个下板组件进行择一驱动处理。

进一步地，在判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤前，还具备有判定光刻机与主机的连接状态的步骤，所述连接状态为异常状态或者关联状态中的一种。

进一步地，根据连接状态判定是否为预定通知的步骤。

本发明的有益效果在于：

控制方法中具备对执行部输出的时间点进行记录与对比，而光刻机由主机控制，那么，主机在应用本发明的控制方法实现分时复用的方式，去同时操控多台光刻机，从而节约了成本并提高生产效率。

附图说明

图1是本发明的框架原理图。

图2是本发明上板组件的结构图。

附图标号说明：1-第一传输带；2-滚筒；3-导板压辊；4-进板压辊；5-出板压辊；6-进板压臂；7-出板压臂；8-第二传输带；9-第一导向板；10-第二导向板。

具体实施方式

请参阅图1所示，本发明关于一种应用于光刻机自动上板的控制方法，其特征在于，包含：

至少一台光刻机以及一台主机，由主机控制执行，是控制光刻机中执行部以及控制光刻机中至少一台上板组件或者下板组件上下料的控制方法，所述控制方法具备：

判定多台上板组件或者下板组件是否为预定时间内传输的步骤；

判定多台上板组件在预定时间内传输的情况下，判定各个执行部是否为相同时间点输出的步骤；