[发明专利]一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置有效
申请号: | 201911412750.9 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111112158B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 周学峰;张强;王淼;贾海洋;杨强;刘伟;侯明超;朱玉 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;C30B15/00 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 避免 过程 发生 爆燃 方法 装置 | ||
一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,所述方法包括步骤:获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝。本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,能够避免目前重掺磷单晶炉拆清过程中可能发生的爆燃,使用安全,操作难度低;且成本较低,装置简单,效率高。
技术领域
本发明属于设备拆清技术领域,具体涉及一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置。
背景技术
目前重掺磷单晶炉拆清时使用的工具较为简易,为一根长约100cm、内径约40mm的厚壁橡胶管,前端缠绕清洗布,拆清工人通过手持橡胶管的方式近距离将橡胶管插入管道内进行清洗。在橡胶管与管道内壁接触并摩擦时会产生热,且管道内充满空气,当温度达到磷的燃点时,磷会与氧气接触从而产生爆炸。通过目前的数据统计,每台重掺磷单晶炉拆清时爆燃几率为99.7%。
此外,这种拆清方式还具有如下缺点:
(1)拆清工人近距离接触爆燃对身体产生一定的直接危害;
(2)爆燃时会产生一定的震动,此时如果临近单晶炉正处于拉晶状态,震动会导致硅熔液液面抖动,使单晶断胞,造成经济损失;
(3)爆燃后,产生大量的有毒烟气,对车间内的操作人员造成呼吸道以及肺部的伤害;同时烟气会污染车间环境,使车间的粉尘浓度增大,粉尘极易造成拉晶过程中产生变晶、单晶断胞、良率下降等问题。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法,所述方法包括步骤:
获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;
在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝。
优选地,所述在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间包括:
将所述手持端与所述拆清端连通;
在所述拆清端上设置与所述手持端连通的排放口;
在所述手持端通入氩气,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间;
在相邻两个所述排放口的间隙处设置清洗布;其中,所述清洗布高度大于所述排放口高度。
本发明还提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的装置,所述装置包括:
拆清装置本体;所述拆清装置本体包括手持端和拆清端,所述手持端与所述拆清端连通;
排放口,用于在所述手持端处形成完全包裹其的隔绝空间;所述排放口设置于所述拆清端,并与所述手持端连通;
清洗布,用于拆清;所述清洗布设置于相邻两个所述排放口的间隙处,且高度大于所述排放口高度;
其中,所述手持端与氩气连通,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间。
本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,能够避免目前重掺磷单晶炉拆清过程中可能发生的爆燃,使用安全,操作难度低;且成本较低,装置简单,效率高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明提供的一种避免拆清过程中发生爆燃的装置的结构示意图;
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