[发明专利]一种用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置

说明书

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置，包括吸尘组件和集尘组件，所述吸尘组件包括吸尘腔体及其支架，所述吸尘腔体右侧面下部设有真空接口，顶面上设有开口，底面上设有吸尘口，所述开口上设有透明密封盖，所述吸尘腔体内设有吸尘管路和真空管路；所述集尘组件包括相匹配的盖板和箱体，箱体的左侧面上设有进气口，右侧面上设有出气口，箱体内部位于进气口与出气口之间的相对的两个侧面上设有相对的插槽，插槽用于镶嵌初效过滤器；本案利用工厂裕度较大的真空动力作为吸尘动力源且吸尘口与加工界面贴合，能够最大限度地减少粉尘的扩散和蔓延，不仅除尘效果好，而且降低了除尘成本和除尘能耗。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置。

背景技术

随着半导体技术的飞速发展，半导体器件越来越多样化，即便相同封装外形的器件其内部可能包含着功能完全不同的芯片，所以半导体器件型号的区分变得尤为重要。

早期在半导体器件外壳涂上不同颜色的油迹来表示其不同的放大性能，但是不仅颜色容易脱落，而且要求使用者需熟记各种颜色的含义。后来发展到将器件型号油印在外壳表面，虽器件型号区分的问题得到解决，但仍然存在印字排版不灵活、印字小型化难、印油污染等问题。随着激光裁剪、雕刻技术的发展，激光刻印由于具有设备小、速度快、排版简单方便等特点逐渐成为现代半导体打标领域的主流技术。激光打标器发生高能激光，通过X、Y轴电机将激光扫描在打标面上，打标面物质在高能激光的照射下被燃烧、熔融，甚至气化等，最终留下字迹。这种达标技术在具体应用时，打标过程中会产生大量的烟雾和粉尘，需要专门的收集系统进行吸尘、过滤，并将废物排出室外。

在半导体封测打标工序中，现有的测试分选机激光吸尘头采用开放式吸尘方式(如图1所示)和三通式吸尘方式(如图2所示)，很难将打标过程产生的粉尘全部吸除。未吸除的粉尘弥漫在激光打标器和测试分选机周围的空气中，最终散落在机器上，不仅会影响车间洁净度，而且容易被操作人员吸入体内，影响身体健康。除此之外，现有的开放式吸尘方式和三通式吸尘方式还要配备专门的吸尘设备和管路，需要增加相应的动力成本和能源消耗。

发明内容

针对现有技术中的问题，本发明提供一种能够与工厂真空动力系统连接的用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置。

为实现以上技术目的，本发明的技术方案是：

一种用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置，包括吸尘组件和集尘组件；

所述吸尘组件包括吸尘腔体及其支架，所述吸尘腔体右侧面下部设有真空接口，顶面上设有开口，底面上设有吸尘口，所述开口上设有透明密封盖且开口的纵向中心线与吸尘口的纵向中心线位于同一直线上，所述吸尘腔体内设有吸尘管路和真空管路，所述吸尘管路的底端与吸尘口连通，中部与真空管路的左端连通，上端延伸至吸尘腔体内部上部，所述真空接口的一端与真空管路的右端连通；

所述集尘组件包括相匹配的盖板和箱体，所述盖板与箱体的接合面上设有密封结构，所述盖板与箱体通过锁紧结构锁紧，所述箱体的左侧面上设有进气口，右侧面上设有出气口，所述进气口通过软管与真空接口的另一端相连，所述出气口与工厂真空动力管路相连，所述箱体内部位于进气口与出气口之间的相对的两个侧面上设有相对的插槽，所述插槽用于镶嵌初效过滤器，所述初效过滤器顶部抵接在盖板上，底部抵接在箱体底部。

作为改进，所述支架的高度可调且与吸尘腔体的连接角度可调。