[发明专利]一种双灯丝结构电子轰击型离子源及其双灯丝工作方法

权利要求书

1.一种双灯丝结构电子轰击型离子源，其特征在于,包括：双灯丝结构灯丝组件、离子源法兰盘和离子源供电电源，所述双灯丝结构灯丝组件与离子源法兰盘连接并通过离子源供电电源供电；所述双灯丝结构灯丝组件包括：灯丝组件A(1)、灯丝组件B(3)、电子能量组件A(2)、电子能量组件B(4)和若干根引脚接口；灯丝组件A(1)和电子能量组件A(2)连接为第一组灯丝结构设在双灯丝结构灯丝组件的一侧；灯丝组件B(3)和电子能量组件B(4)连接为第二组灯丝结构设置在双灯丝结构灯丝组件的另一侧；所述离子源法兰盘上设置有17个电机接口；所述离子源供电电源为双插头结构；

所述灯丝组件A(1)和灯丝组件B(3)均为阴极组件；

所述离子源法兰盘整体为圆盘形结构，所述离子源法兰盘上根据双灯丝结构灯丝组件内的结构设置共设置有17个电极接口包括：灯丝组件A接口、灯丝组件B接口、电子能量组件A接口、电子能量组件B接口、聚焦一接口、聚焦二接口、电离盒接口、Y1偏转接口、Y2偏转接口、X1偏转接口、R偏转接口、X2偏转接口、引出一接口、引出二接口和屏蔽接口，用于与双灯丝结构灯丝组件匹配连接；

所述离子源供电电源双插头结构包括：插头一和插头二；所述插头一与灯丝组件A(1)连接；插头二与灯丝组件B(3)连接；

取消灯丝组件中原接收极，在原接收极位置加装安装一组灯丝组件和电子能量，其中一组灯丝组件在不工作的时候，作为接收极使用，电子能量悬空；切换后，原工作的灯丝组件转为接收极，原接收极位置的灯丝组件开始工作；即两套阴极组件互为发射和接收；双灯丝离子源的两根灯丝相互切换，在不破坏高真空的情况下，通过切换接口，对离子源电参数无任何影响。

2.一种如权利要求1所述的双灯丝结构电子轰击型离子源的双灯丝工作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：当第一组灯丝结构不工作时，将插头一插入空接口，插头二插入阴极电路板供电接口；所述灯丝组件A(1)不工作，并作为接收极使用，电子能量组件A(2)上的电子能量悬空，灯丝组件B(3)为发射极；

步骤二：当插头一插入阴极电路板供电接口，插头二插入空接口时，第一组灯丝结构开始工作，灯丝组件A(1)转为发射极，电子能量组件A(2)上的电子能量释放；灯丝组件B(3)转为接收极使用，电子能量组件B(4)上的电子能量悬空。