[发明专利]一种真空镀膜机有效
申请号: | 201911415131.5 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111218661B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 程新诗;王新刚;牟成先;肖友根;李国兵 | 申请(专利权)人: | 四川荣塑管业集团有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 成都环泰专利代理事务所(特殊普通合伙) 51242 | 代理人: | 李斌;李辉 |
地址: | 610000 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 | ||
1.一种真空镀膜机,包括镀膜机本体,所述镀膜机本体的真空室的中部设有第一电极棒和第二电极棒,所述镀膜机本体的真空室内还有若干龙骨架,若干所述龙骨架围绕所述第一电极棒和第二电极棒设置,其特征在于,所述镀膜机本体的真空室的室门一侧通过安装件安装有刹车气缸,所述刹车气缸的活塞杆朝向地面设置,所述刹车气缸的活塞杆伸出端的端部设有固定板,所述固定板朝向地面的侧面上设有刹车板;
所述龙骨架包括转轴、第一转盘、第二转盘和工件安装杆,所述转轴的一端与所述镀膜机本体的转台上的齿轮连接,所述转轴的另一端通过轴承与所述镀膜机本体的顶部连接,所述第一转盘设在所述转轴上,且靠近所述镀膜机本体的转台,所述第二转盘设于所述转轴上,且远离所述第一转盘,所述第一转盘上环形分布有多个安装孔,所述第二转盘对应多个所述安装孔设有限位孔,所述工件安装杆的两端与分别与所述安装孔和限位孔相配合,所述工件安装杆沿其轴线方向上均布设有多个夹具安装件,所述夹具安装件上设有夹具卡凸;
所述第一电极棒和第二电极棒上设有蒸发装置和绝缘装置;
所述蒸发装置包括第一电极装置、第二电极装置、第三电极装置和第四电极装置,所述第一电极装置、第二电极装置、第三电极装置和第四电极装置均包括第一铜片、第二铜片和钨丝,所述第一电极装置的第一铜片的一端与所述第二铜片的一端分别与第一电极棒和第二电极棒连接,所述第一电极装置的第一铜片的另一端通过所述钨丝连接,所述第二电极装置的第一铜片的一端与所述第二铜片的一端分别与第一电极棒和第二电极棒连接,所述第二电极装置的第一铜片的另一端通过所述钨丝连接,且所述第一电极装置和第二电极装置相背设置;所述第二电极装置和第三电极装置相互垂直,所述第三电极装置的第一铜片和第二铜片的一端分别与所述第一电极棒和第二电极棒连接,所述第三电极装置的第一铜片和第二铜片的另一端通过钨丝连接,所述第四电极装置的第一铜片和第二铜片的一端分别与第一电极棒和第二电极棒连接,所述第四电极装置的第一铜片和第二铜片的另一端通过钨丝连接,所述第三电极装置和第四电极装置相背设置;
所述安装孔呈多边形,所述限位孔呈圆形;
所述第一电极装置、第二电极装置、第三电极装置和第四电极装置沿所述第一电极棒和第二电极棒的高度方向相互交错设置;
所述绝缘装置包括第一绝缘件、第二绝缘件和夹紧件,所述第一绝缘件和第二绝缘件通过夹紧件连接,所述第一绝缘件和第二绝缘件均包括第一绝缘块和第二绝缘块,所述第一绝缘块上设有第一缺口,第二绝缘块上均设有第二缺口,所述第一绝缘块的第一缺口和第二绝缘块的第二缺口相对安装后形成电极安装槽,所述第一绝缘块的第一缺口的两端均设有第一绝缘槽,所述第二绝缘块的第二缺口的两端均设有第二绝缘槽,所述第一绝缘块和第二绝缘块的侧壁上均设有开口,所述开口的底部设有夹紧件卡接槽,所述开口的两侧壁上设有第三绝缘槽;
所述夹紧件包括第一夹紧块和第二夹紧块,所述第一夹紧块和第二夹紧块上均设有两夹紧槽,所述第一夹紧块和第二夹紧块通过螺钉连接,连接后所述第一夹紧块上的夹紧槽与所述第二夹紧块上的夹紧槽相对设置并形成绝缘件安装槽;
所述安装件包括第一连接钢板、第二连接钢板、第三连接钢板和第四连接钢板,所述第一连接钢板和第三连接钢板均包括第一连接板、第二连接板和第三连接板,所述第二连接板水平设置,所述第一连接板竖直设于所述第二连接板的顶部一端,所述第三连接板竖直设于所述第二连接板的底部,且远离所述第一连接板的一端;所述第二连接钢板呈“L”型;所述第四连接钢板呈“┏”型;所述第一连接钢板的第一连接板与所述镀膜机的真空室的室门连接,所述第一连接钢板的第三连接板与所述第二连接钢板的竖板连接,所述刹车气缸远离其活塞杆的端部与所述第二连接钢板的横板连接;第三连接钢板的第一连接板与所述镀膜机的真空室的室门连接,所述第三连接钢板的第三连接板与所述第四连接钢板的竖板连接,所述刹车气缸靠近活塞杆的端部与所述第四连接钢板的横板连接;
所述第一连接钢板的第二连接板上设有气缸开关;
所述刹车板上设有沉头通孔,所述固定板上设有与所述沉头通孔对应的连接孔,所述刹车板和固定板通过螺钉连接,所述固定板的中部设有螺纹孔,所述刹车气缸的活塞杆端部设有与所述螺纹孔相配合的螺纹;
所述第一转盘和第二转盘均包括连接圆盘和多个限位板,多个所述限位板沿所述连接圆盘的周向均匀分布,所述安装孔设于所述第一转盘的限位板上,所述限位孔设于所述第二转盘上的限位板上。
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