[发明专利]ICP-AES光路系统在审
申请号: | 201911416380.6 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111077137A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 郭子杨;杨凯;李锐;林鼎乘;喻正宁;俞晓峰;洪波 | 申请(专利权)人: | 杭州谱育科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N21/73 | 分类号: | G01N21/73;G01N21/01 |
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地址: | 310052 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | icp aes 系统 | ||
1.ICP-AES光路系统,其特征在于:所述ICP-AES光路系统包括:
第一反射镜和第二反射镜,炬焰的光分别经所述第一反射镜和第二反射镜反射到第一光学器件;
第一光学器件,所述第一光学器件将所述炬焰分别成像在第一狭缝和第二狭缝处;
第一狭缝和第二狭缝,穿过第一狭缝的第一光束和穿过第二狭缝的第二光束光分别射向第二光学器件;
第二光学器件,所述第二光学器件将所述第一光束转变为第一平行光,将第二光束转变为第二平行光;
光栅组,所述光栅组包括第一光栅和第二光栅,所述第一平行光入射到所述第一光栅,所述第二平行光入射到所述第二光栅;第一光栅和第二光栅间的夹角等于所述第一平行光和第二平行光间的夹角;
第三光学器件,所述第一平行光和第二平行光在光栅组上的衍射光被所述第三光学器件聚焦在面阵探测器上;
棱镜,所述棱镜设置在所述第二光学器件和光栅组之间的光路上,和/或所述第三光学器件和光栅组之间的光路上;
面阵探测器上,第一光栅的衍射光和第二光栅的衍射光分别成像在面阵探测器上的部分拼接为全谱。
2.根据权利要求1所述的ICP-AES光路系统,其特征在于:所述第一光学器件、第二光学器件和第三光学器件中的任一采用凹面反射镜或凸透镜。
3.根据权利要求1所述的ICP-AES光路系统,其特征在于:所述第一光学器件包括:
第一凹面反射镜,所述第一凹面反射镜的反射面为球面;
第二凹面反射镜,所述第二凹面反射镜的反射面为非球面;炬焰的光在第一反射镜和第二反射镜上的反射光依次经第一凹面反射镜和第二凹面反射镜的反射。
4.根据权利要求1所述的ICP-AES光路系统,其特征在于:所述第一光栅和第二光栅的闪耀角不同。
5.根据权利要求1所述的ICP-AES光路系统,其特征在于:所述第一光栅和第二光栅采用中阶梯光栅。
6.根据权利要求1所述的ICP-AES光路系统,其特征在于:所述第一光栅和第二光栅的尺寸相同,刻线数相同。
7.根据权利要求1所述的ICP-AES光路系统,其特征在于:所述第一狭缝和第二狭缝尺寸相同。
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