[发明专利]一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构

权利要求书

1.一种用于MEMS器件的防尘结构，其特征在于，包括：

载体，所述载体呈柱状框架结构，所述载体具有沿自身轴向设置的贯通的开口，所述载体的侧壁具有弧形表面；

网格膜，所述网格膜具有固定连接区和透声区，所述固定连接区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘；

所述网格膜设置在所述载体的端面上，所述透声区与所述开口的位置对应。

2.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述载体呈多棱柱状结构，所述载体的侧壁在棱边处形成有所述弧形表面。

3.根据权利要求2所述的防尘结构，其特征在于，所述载体呈四棱柱状结构。

4.根据权利要求2所述的防尘结构，其特征在于，所述弧形表面由斜切倒角构成。

5.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述载体呈圆柱状结构或椭圆柱状结构，所述载体的侧壁整体构成所述弧形表面。

6.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述透声区采用隔离网制成，所述隔离网被配置为供声音穿过。

7.根据权利要求6所述的防尘结构，其特征在于，所述隔离网为有机无纺布或金属筛网。

8.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述网格膜具有缓冲区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围；

所述缓冲区和所述透声区与所述开口的位置对应。

9.根据权利要求8所述的防尘结构，其特征在于，所述缓冲区与所述固定连接区的材质相同。

10.一种MEMS麦克风封装结构，其特征在于，包括：

设有容纳腔的外壳，所述外壳上设有声孔，所述声孔将所述外壳的内部和外部连通；

麦克风器件，所述麦克风器件固定设置在所述外壳内；

权利要求1-9任意之一所述的防尘结构，所述载体与所述外壳固定连接；

所述网格膜封闭所述声孔；和/或，所述网格膜间隔于所述声孔与所述麦克风器件之间。