[发明专利]一种用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法

权利要求书

1.一种用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）旋涂光刻胶：将光刻胶滴在耐高温基板上，旋涂形成1~10um厚度的光刻胶薄膜，随后在热板上以90~120℃的温度烘烤2~10分钟以使光刻胶固化得到涂胶板；

（2）曝光：在光刻机上放置刻有基底图案的掩膜板，将涂胶板放置在掩膜板下方进行光刻曝光得到图案化改性涂胶板；

（3）显影：使用光刻胶显影剂对图案化改性涂胶板进行显影得到显影板，显影板上设有和掩膜板上的基底图案一样的图案或相反图案；

（4）蒸镀Ni膜：使用电子束蒸发设备将靶材设为Ni，对显影板进行蒸镀，蒸镀后退火处理后形成Ni膜厚度为5~10nm的Ni膜板；

（5）除胶与清洗：将Ni膜板放置于丙酮溶液中清洗，洗去Ni膜板上面的光刻胶和位于光刻胶表面的Ni膜，得到图案化的Ni膜板；

（6）生长碳纳米棒CA自交联阵列：将图案化的Ni膜板放置于管式炉中，升温至850~950℃，使图案化的Ni膜板表面的Ni膜生成为液态Ni纳米颗粒，接着引入H₂，然后升温至1000~1200℃，保持温度10~20分钟后将H₂调整成CH₄通入使管式炉内部压力逐渐增加至120~180mbar并保持1000~1200℃的温度20~30分钟，然后关闭管式炉并将CH₄调整为 H₂通入管式炉内，开始自然降温，当温度降至100~300°C时将H₂调整成惰性气体通入，至管式炉内部降至室温得到CA自交联阵列板；

（7）剥离：将可溶性基底材料滴在CA自交联阵列板表面后旋涂形成薄膜状可溶性基底材料涂层；然后烘烤使薄膜状可溶性基底材料涂层固化得到固化板；随后将固化板置入5~40%的HF溶液中，刻蚀使固化板上的耐高温基板剥离得到可溶性基底材料/CA阵列层；

（8）清洗及转移至柔性基板：清洗可溶性基底材料/CA阵列层；随后使用丙酮清洗去除可溶性基底材料/CA阵列层上的薄膜状可溶性基底材料涂层得到CA阵列层，将CA阵列层转移并附着到柔性基板上；

（9）传感器制作：使用导电银浆将电极连接到柔性基板的CA阵列层上后以70~150℃的温度将导电银浆固化得到成品。

2.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，所述的耐高温基板包括硅基底、Si/SiO₂衬底、石英基底、云母基底或玻璃基底。

3.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，所述光刻胶为正性光刻胶或负性光刻胶。

4.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，步骤（3）中图案化改性涂胶板在23.0±0.1℃的温度下浸渍在显影液中60s。

5.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，蒸镀Ni膜时退火温度为150~300℃，退火时间为30~60分钟。

6.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，其中柔性基板的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯 、聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚氯乙烯。

7.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，所述电极的材料化学组分为碳、金、银、铜、铝、铟、锡中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，所述惰性气体为Ar。

9.根据权利要求1所述的用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法，其特征在于，所述可溶性基底材料为PMMA、PDMS或石蜡。