[发明专利]一种MEMS驱动器及成像防抖装置

权利要求书

1.一种MEMS驱动器，其特征在于，包括层叠的驱动机构和联动机构；所述驱动机构包括第一锚定部、与所述第一锚定部间隔设置的第一支撑件以及连接在所述第一锚定部和所述第一支撑件之间的致动器，所述第一支撑件用于支撑被驱动装置；所述联动机构包括与所述第一锚定部对应且相对固定的第二锚定部、与所述第二锚定部间隔设置的第二支撑件以及连接在所述第二锚定部与所述第二支撑件之间的弹性电连接机构，所述第二支撑件与所述第一支撑件固定，所述第一支撑件带动所述第二支撑件相对所述第一锚定部运动；所述致动器经所述第一锚定部与外部电路电连接，所述被驱动装置与所述联动机构电连接且所述被驱动装置经所述第二锚定部与所述外部电路电连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述致动器包括驱动所述第一支撑件沿第一方向运动的第一致动件以及驱动所述第一支撑件沿垂直于所述第一方向的第二方向运动的第二致动件。

3.根据权利要求2所述的MEMS驱动器，其特征在于：至少两个所述第一致动件相对所述MEMS驱动器的中心呈中心对称设置；和/或至少两个所述第二致动件相对所述MEMS驱动器的中心呈中心对称设置。

4.根据权利要求3所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述第一致动件与所述第二致动件中的至少一个为静电梳齿驱动器，所述静电梳齿驱动器包括自所述锚定部延伸并与所述第一支撑件间隔设置的第一延伸臂、自所述第一支撑件延伸并与所述第一锚定部延伸的第二延伸臂、以及形成在所述第一延伸臂与所述第二延伸臂之间的梳齿部，所述第一延伸臂与所述第二延伸臂至少部分正对设置。

5.根据权利要求4所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述梳齿部具有与所述第一方向或所述第二方向平行的静电梳齿。

6. 根据权利要求5所述的MEMS驱动器，其特征在于： 所述静电梳齿驱动器还包括连接在所述第一延伸臂与所述第二延伸臂之间的柔性支撑部，所述柔性支撑部与所述梳齿部间隔设置。

7.根据权利要求2所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述弹性电连接机构关于所述第一方向与所述第二方向轴对称设置。

8.根据权利要求1所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述第一支撑件在所述联动机构上的正投影与所述第二支撑件重合，所述第一锚定部在所述联动机构上的正投影与所述第二锚定部重合。

9.根据权利要求2-7任一项所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述第一锚定部包括平行且相互间隔设置的锚定侧板，所述第一支撑件包括位于两所述锚定侧板之间且分别与两所述锚定侧板相对且间隔设置的第一支撑板、以及自所述第一支撑板的相对两端分别弯折延伸且与所述锚定侧板间隔设置的第二支撑板，所述驱动器分别设置于所述第一支撑板与所述锚定侧板之间。

10.根据权利要求9所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述弹性电连接机构包括自所述第二锚定部沿所述第一方向延伸的第一导电部以及自所述第一导电部朝所述第二支撑件弯折延伸的第二导电部。

11.根据权利要求10所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述第二导电部呈锯齿状弯曲并沿所述第二方向延伸。

12.根据权利要求1-8任一项所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述第一支撑件呈环形并绕设在所述第一锚定部外周。

13.根据权利要求12所述的MEMS驱动器，其特征在于：所述弹性电连接机构包括自所述第二锚定部弯折延伸的第一导电部以及自所述第一导电部朝所述第二支撑件弯折延伸的第二导电部，所述第一导电部与所述第二导电部之间的夹角为锐角。

14.一种成像防抖装置，包括基板、固定于所述基板的MEMS驱动器以及设置于所述MEMS驱动器远离所述基板一侧的图像传感器，其特征在于，所述MEMS驱动器为如权利要求1-13任一项所述的MEMS驱动器，所述外部电路形成于所述基板，所述图像传感器与所述第一支撑件固定，所述第二锚定部夹设于所述第一锚定部与所述基板之间并与所述基板固定，所述第二支撑件及所述弹性电连接机构悬置于所述基板一侧，

所述外部电路与所述第一锚定部电连接并输出驱动信号至所述驱动器以使所述图像传感器运动；所述图像传感器与所述联动机构电连接并经所述第二锚定部与所述外部电路电连接；所述外部电路根据所述图像传感器的电信号调整所述驱动信号。