[发明专利]一种MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，包括谐振子和多个外部电极，所述外部电极呈圆周阵列分布在谐振子外围，其特征在于：所述谐振子为轴心对称的圆盘形网状结构，所述谐振子包括位于谐振子中心的锚点结构和螺旋线结构，所述螺旋线结构与锚点结构固定连接，所述螺旋线结构为多个螺旋线单元相交形成的螺旋网状结构或由螺旋网状结构变形处理构成的蜂窝形螺旋线结构，所述螺旋线结构为螺旋网状结构时，所述螺旋线结构由多个螺旋线单元依所述锚点结构进行圆周阵列交织成网状；

所述螺旋线单元包括自所述锚点结构上的同一起点端朝相反方向延伸的第一螺旋线和第二螺旋线，所述第一螺旋线和第二螺旋线的旋转方向相反，所述第一螺旋线与第二螺旋线朝同一终止端延伸并在所述终止端相连，所述第一螺旋线与所述第二螺旋线 相交于位于所述起点端远离所述终止端一侧的交点，所述起点端、所述终止端及所述交点共线，所述第一螺旋线与第二螺旋线关于起始端与终止端之间的连线轴对称，所述锚点结构覆盖部分所述螺旋线单元，所述外部电极固定于所述终止端。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：相邻两所述第一螺旋线平行且长度相等。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述起点端与交点之间的第一螺旋线和第二螺旋线构成第一封闭结构，所述交点与所述终止端之间的第一螺旋线和第二螺旋线构成第二封闭结构，所述第一封闭结构和第二封闭结构为两个方向相反的心形结构。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述螺旋网状结构包括多边形的孔洞。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述孔洞内设有辐条结构，所述辐条结构位于孔洞的锐角部分且与形成所述锐角的相邻两侧边相连。

6.根据权利要求4所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述蜂窝形螺旋线结构具有多个蜂窝形子单元，所述蜂窝形子单元包括螺旋线及沿所述锚点结构的径向延伸的连接梁，所述孔洞由所述连接梁和螺旋线首尾相接构成围成且呈六边形结构。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述连接梁为直线梁，所述连接梁径向连接螺旋线单元相交形成的节点。

8.根据权利要求6的所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述螺旋线结构内设有悬挂质量块。

9.根据权利要求8所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述悬挂质量块与连接梁连接，所述悬挂质量块为轴对称结构且对称轴与连接梁所在的直线重叠。

10.根据权利要求8－9任意一项所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述螺旋线结构内设有内部电极。

11.根据权利要求10所述的一种MEMS陀螺仪，其特征在于：所述内部电极以锚点结构为中心圆周阵列均匀分布在螺旋线结构内，所述内部电极位于所述悬挂质量块的内侧。