[发明专利]电容系统及电容式麦克风

说明书

本发明提供一种电容系统，包括具有收容腔的定基板、设于收容腔内的动基板、与动基板相对设置的弹性件以及用于连接动基板与弹性件的连接件；弹性件在外力的作用下和自身回复力的作用下通过连接件带动动基板相对于定基板做往返移动，或者动基板在外力的作用下和弹性件的回复力的作用下相对于定基板做往返移动；定基板包括靠近连接件的第一表面和远离连接件的第二表面，收容腔贯穿第一表面和第二表面设置；定基板朝向收容腔凸设若干呈梳齿状排布的定电极，动基板朝向定基板凸设有若干呈梳齿状排布的动电极，定电极与动电极在空间上分离且相互交叉。因此，本发明提供的电容系统提高了电容式麦克风线性度和灵敏度，并且该电容系统设计自由度更高。

【技术领域】

本发明涉及声电转换装置技术领域，尤其涉及一种电容系统及电容式麦克风。

【背景技术】

微电机系统(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone，MEMS) 麦克风是一种用微机械加工技术制作出来的电声换能器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、薄型化发展，MEMS 麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。根据阻尼方式的不同，电容式麦克风分为三种：压膜阻尼、滑膜阻尼和真空环境。其中，滑膜阻尼采用梳齿电容方式，通过梳齿间相对滑移的运动产生电容。然而，现有技术中，该类电容式麦克风边缘的运动梳齿并非仅仅进行活塞运动，而是活塞加扭转运动，对麦克风的性能产生一定的影响。

因此，有必要提供一种高灵敏度和线性度好的电容系统以及电容式麦克风。

【发明内容】

本发明的目的之一在于提供一种电容系统，以解决现有的电容系统无法使电容式麦克风具有高灵敏度、线性度好的技术问题。

本发明的目的之二在于提供一种电容式麦克风，以解决现有的电容式麦克风灵敏度低、线性度差的技术问题。

本发明的目的之一提供的技术方案如下：一种电容系统，包括具有收容腔的定基板、设于所述收容腔内的动基板、与所述动基板相对设置的弹性件以及用于连接所述动基板与所述弹性件的连接件；所述弹性件在外力的作用下以及自身回复力的作用下通过所述连接件带动所述动基板相对于所述定基板做往返移动，或者所述动基板在外力的作用下以及所述弹性件的回复力的作用下相对于所述定基板做往返移动；所述定基板包括靠近所述连接件的第一表面和远离所述连接件的第二表面，所述收容腔贯穿所述第一表面和所述第二表面设置；所述定基板朝向所述收容腔凸设若干呈梳齿状排布的定电极，所述动基板朝向所述定基板凸设有若干呈梳齿状排布的动电极，所述定电极与所述动电极在空间上分离且相互交叉。

进一步地，所述弹性件为振膜，包括与所述连接件连接的振动部以及设于所述振动部外周的固定部，所述振动部在外力的作用下以及自身回复力的作用下通过所述连接件带动所述动基板相对于所述定基板做往返移动。

进一步地，所述动基板贯穿设有若干个通孔。

进一步地，所述弹性件为条形板，所述连接件一端连接于所述条形板、另一端连接于所述动基板。

进一步地，所述连接件设于所述条形板的中间，所述条形板的两端相对于所述连接件相互对称。

进一步地，所述连接件设于所述条形板的一端。

进一步地，所述连接件为连接柱，所述连接柱设有一个，所述连接柱的中心轴线与所述动基板的中心轴线重合。

进一步地，所述连接件为连接柱，所述连接柱与所述条形板设有若干个且数量相同，一个所述连接柱对应连接于一个所述条形板。

进一步地，若干所述连接柱相对于所述动基板的中心轴线对称设置，若干所述条形板相对于所述动基板的中心轴线呈辐射状延伸，所述连接柱连接于所述条形板靠近所述动基板的中心轴线一端。