[发明专利]离子源装置及可活动射频扫描离子设备

权利要求书

1.一种离子源装置，其特征在于，包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，所述射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；

所述射频匹配网络的输入端连接射频源，所述射频匹配网络的输出端连接至所述射频离子源的射频线圈一端；

所述射频离子源的射频线圈另一端接地；

所述射频匹配网络通过输入端接入射频源，所述射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，所述射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。

2.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，所述射频匹配网络与射频离子源为一体化设计，所述射频匹配网络与射频离子源串联内置于一体化外壳内；

其中，所述射频离子源的前端位于所述一体化外壳前部；连接电离室的所述气体管道延伸出到所述一体化外壳后部，所述屏极栅网的驱动电源输入口以及所述匹配网络的射频源输入口设于所述一体化外壳后部。

3.根据权利要求2所述的离子源装置，其特征在于，所述射频匹配网络包括电感L、电容C_load和电容C_tune，其中，所述电感L串联在传输线上，所述电容C_load和电容C_tune分别连接所述电感L两端和接地之间。

4.根据权利要求3所述的离子源装置，其特征在于，所述射频匹配网络的电容C_load和电容C_tune的接地端连接所述一体化外壳上，所述射频离子源的射频线圈的另一端连接所述一体化外壳上。

5.根据权利要求2或4所述的离子源装置，其特征在于，所述一体化外壳为密封设计。

6.一种可活动射频扫描离子设备，其特征在于，包括：权利要求1至5任一项所述的离子源装置以及真空腔室；所述离子源装置以可活动方式置于真空腔室内，在真空腔室内进行自由运动扫描。

7.根据权利要求6所述的可活动射频扫描离子设备，其特征在于，所述射频离子设备的一体化外壳后部设置有离子源安装口，所述真空腔室上设置有连接线安装口。

8.根据权利要求7所述的可活动射频扫描离子设备，其特征在于，所述离子源安装口与所述连接线安装口上均安装有密封法兰口。

9.根据权利要求8所述的可活动射频扫描离子设备，其特征在于，所述离子源安装口与所述连接线安装口之间通过无缝管连接。

10.根据权利要求9所述的可活动射频扫描离子设备，其特征在于，所述无缝管为柔性波纹管。