[发明专利]具有声学干涉阵列的体声波谐振器及组、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；

所述谐振器在有效区域的边缘设置有声学不匹配结构；

所述谐振器的顶面设置有声学干涉阵列，所述声学干涉阵列包括覆盖有效区域的中心阵列，和覆盖声学不匹配结构的至少一部分的周边阵列；

中心阵列和周边阵列中的至少一个包括至少两种阵列结构，所述至少两种阵列结构包括第一阵列结构与第二阵列结构；

第一阵列结构的第一阵列元素的中心形成第一点阵列，第二阵列结构的第二阵列元素的中心形成第二点阵列，第二点阵列是相对于第一点阵列平面旋转或平面平移而获得的点阵列，且两个阵列结构的相邻阵列元素彼此间隔开；

第一阵列元素的尺寸不同于第二阵列元素的尺寸。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述声学不匹配结构包括凹陷结构、凸起结构、悬翼结构和桥结构中的至少一种结构。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

声学不匹配结构包括凹陷结构、凸起结构、悬翼结构和桥结构，其中凹陷结构和凸起结构设置在有效区域与悬翼结构之间、以及设置在有效区域与桥结构之间，所述悬翼结构设置在顶电极的非引脚端，所述桥结构设置在顶电极引脚端。

4.根据权利要求3所述的谐振器，其中：

所述凹陷结构构成围绕有效区域的环形凹陷；

所述凸起结构构成围绕有效区域的环形凸起；

所述悬翼结构的上升倾斜部与所述桥结构的上升倾斜部构成围绕有效区域的环形上升倾斜部；

所述悬翼结构的水平部与所述桥结构的水平部构成围绕有效区域的环形水平部。

5.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

所述周边阵列覆盖凹陷结构、凸起结构、悬翼结构和桥结构中的至少一种结构。

6.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述周边阵列包括分别覆盖环形凹陷、环形凸起、环形上升倾斜部、环形水平部的第一阵列、第二阵列、第三阵列和第四阵列。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

所述有效区域为多边形，且环形凹陷、环形凸起、环形上升倾斜部、环形水平部分别为围绕有效区域的第一多边形环、第二多边形环、第三多边形环和第四多边形环；

每一个多边形环包括顶角，在多边形环的周向方向上，第一阵列、第二阵列、第三阵列和第四阵列中的每一个被分为多个梯形区域，所述多个梯形区域以顶角分隔开；

至少一个所述梯形区域中阵列的阵列方向与其所在的梯形区域的底边保持平行。

8.根据权利要求7所述的谐振器，其中：

每一个所述梯形区域中阵列的阵列方向与其所在的梯形区域的底边保持平行。

9.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述周边阵列还包括覆盖桥结构的下降倾斜部的阵列；或

所述周边阵列还包括覆盖桥结构的下降倾斜部的阵列以及覆盖下降倾斜部与电极引脚之间的至少一部分的阵列。

10.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述至少两种阵列结构还包括第三阵列结构；

第三阵列结构的第三阵列元素的中心形成第三点阵列，第三点阵列是相对于第一点阵列平面旋转或平面平移而获得的点阵列；且

三个阵列结构的相邻阵列元素彼此间隔开。

11.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

第一阵列元素与第二阵列元素的几何形状相同或者构成几何相似；或

第一阵列元素的形状不同于第二阵列结构的形状。