[发明专利]一种旋转密封装置

说明书

本发明公开了一种旋转密封装置，包括固定座、喷管、密封套、第一密封环和喷嘴；所述固定座一端设置有进水口；所述喷管一端转动设置在所述固定座内，并且所述喷管的管道与所述进水口连通；所述密封套转动设置在所述固定座的外侧，并且固定在所述喷管的外侧；所述第一密封环转动套设在所述喷管的外侧，并且设置在所述固定座和所述密封套之间；所述喷嘴设置在所述喷管的一侧，并且与所述喷管的管道连通。本发明在保证喷管转动喷液体的同时，可以有效防止液体的泄露，密封性能良好。

技术领域

本发明属于蚀刻技术领域，具体涉及一种旋转密封装置。

背景技术

蚀刻通常也称光化学蚀刻，指通过显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用。其中，喷淋式蚀刻机通过将化学液体喷涂在产品上的方式对产品进行蚀刻处理。

对于一些结构较为复杂的产品喷淋时，喷淋式蚀刻机中的喷淋装置通常需要旋转，以方便对产品进行全面的蚀刻处理。现有喷淋式蚀刻机的喷淋装置，其用于喷淋的管道在转动时难以保证自身的密封性，工作过程会有部分液体泄漏，造成成本的浪费。

发明内容

本发明为解决上述技术问题提供了一种旋转密封装置。

本发明为实现其技术效果而采用的解决方案为：

一种旋转密封装置，包括固定座、喷管、密封套、第一密封环和喷嘴；所述固定座一端设置有进水口；所述喷管一端转动设置在所述固定座内，并且所述喷管的管道与所述进水口连通；所述密封套转动设置在所述固定座的外侧，并且固定在所述喷管的外侧；所述第一密封环转动套设在所述喷管的外侧，并且设置在所述固定座和所述密封套之间；所述喷嘴设置在所述喷管的一侧，并且与所述喷管的管道连通。

优选地，所述固定座内设置有第一安装槽；所述安装槽与所述进水口连通；所述喷管其中一端设置有安装座；所述安装座一端贴靠在所述第一安装槽的槽底，并且两侧转动贴合在所述第一安装槽的侧壁。

优选地，所述喷管的外侧与所述第一安装槽的侧壁之间设置有第二密封环，所述第二密封环转动套设在所述喷管的外侧；所述第二密封环位于所述安装座以及所述第一密封环之间。

优选地，所述第二密封环的数量为三个；三个所述第二密封环相互均匀间隔设置。

优选地，所述密封套内设置有第二安装槽；所述第一密封环夹设在所述第二安装槽的槽底与所述固定座之间；所述第二安装槽的侧壁与所述固定座的外侧设置有对应的平行螺纹；所述平行螺纹相互转动嵌合，使所述密封套转动设置在所述固定座的外侧。

优选地，所述密封套的内侧设置有密封块；所述密封块转动贴靠在所述固定座的外侧，并且位于第二安装槽的槽底与所述平行螺纹之间。

本发明的有益效果为：密封套固定在喷管的外侧，并且转动在固定座的外侧，同时固定座、喷管和密封套之间设置有第一密封环，在保证喷管转动喷液体的同时，可以有效防止液体的泄露，密封性能良好。

附图说明

图1为本发明实施例公开的旋转密封装置剖面图；

图2为本发明实施例公开的固定座剖面图；

图3为本发明实施例公开的密封套剖面图。

标识说明：1-固定座，11-第一安装槽，2-喷管，21-安装座，3-密封套，31-第二安装槽，32-密封块，4-第一密封环，5-喷嘴，6-第二密封环，7-平行螺纹。

具体实施方式