[发明专利]显微光学系统像质补偿方法及装置

权利要求书

1.一种显微光学系统像质补偿装置,其特征在于，包括：

固定架；

物镜，所述物镜包括镜筒、透镜和镜框，所述镜筒的上端安装在所述固定架的下端，所述透镜具有多个，每个所述透镜通过一个所述镜框安装在所述镜筒内；多个所述透镜中具有一个或多个偏心透镜和一个或多个轴向透镜，与所述偏心透镜连接的镜框为偏心镜框，所述偏心镜框与所述镜筒之间具有径向移动的间隙，所述镜筒上设有一组或多组径向的通孔，每组所述通孔包括位于一个圆周上的至少三个通孔，每个所述偏心镜框对应一组所述通孔；与所述轴向透镜连接的镜框为轴向镜框，所述轴向镜框与所述镜筒螺纹连接，并且所述轴向镜框的部分位于所述镜筒的外侧；

以及至少三个偏心促动器，所述至少三个偏心促动器安装在所述固定架的下端，并均匀围绕在所述物镜的四周，所述偏心促动器具有可伸缩和/或可升降的驱动端，所述驱动端用于穿过所述镜筒上的通孔驱动所述偏心透镜和偏心镜框径向移动。

2.如权利要求1所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述镜筒内位于最下端的透镜为所述轴向透镜，所述镜筒的下端设有外螺纹，所述轴向镜框设有内螺纹，所述轴向镜框螺纹连接在所述镜筒的下端。

3.如权利要求2所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述镜筒的下端端部还设有导向面，所述轴向镜框内设有对应的导向面，所述镜筒的导向面与所述轴向镜框的导向面为可滑动的导向连接。

4.如权利要求2所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述镜筒的下端内表面设有径向凸起，所述镜框上下层叠安装在所述镜筒内，所述镜筒的上端安装有压圈，所述压圈将所述镜框轴向压紧在所述镜筒内。

5.如权利要求4所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述透镜中还具有固定透镜，与所述固定透镜连接的镜框为固定镜框，所述固定镜框与所述偏心镜框上下层叠在所述镜筒内，所述固定镜框的外表面与所述镜筒的内表面接触连接。

6.如权利要求1所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述镜筒的上端固定有连接环，所述连接环上设有位于一个圆周上的若干个弧形槽孔，每个弧形槽孔内安装有固定螺钉，所述连接环通过螺钉连接安装在所述固定架上。

7.如权利要求1至6中任一项所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述偏心促动器包括安装架和偏心电机，所述偏心电机通过所述安装架安装在所述固定架的下端，所述偏心电机的驱动端为所述偏心促动器的驱动端。

8.如权利要求7所述的显微光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述偏心促动器还包括升降电机，所述偏心电机可升降滑动的安装在所述安装架上，所述升降电机安装在所述安装架上，所述升降电机的驱动端与所述偏心电机连接，所述升降电机用于驱动所述偏心电机升降移动。

9.一种显微光学系统像质补偿方法,其特征在于，包括如下步骤：

在物镜的上端基准面上放置平面反射镜，所述平面反射镜与光轴垂直；

干涉仪发射检测光，检测光经转折镜反射到平面反射镜上，平面反射镜的反射光经转折镜反射回干涉仪；

摆动物镜，当干涉仪的出射光自准直时，固定住物镜；

在物镜的下方放置球面反射镜，球面反射镜安装在一个调整台上；

干涉仪发射检测光，检测光经转折镜反射及物镜透射到球面反射镜上，球面反射镜反射的反射光经物镜透射及转折镜反射到干涉仪上；

通过调整台驱动球面反射镜移动和摆动，当干涉仪的出射光自准直时，固定住球面反射镜；

干涉仪发射检测光，检测光经转折镜反射及物镜透射到球面反射镜上，球面反射镜反射的反射光经物镜透射及转折镜反射到干涉仪上，干涉仪根据发射光和反射光形成相应的发射信号和反射信号；

处理器根据发射信号和反射信号计算出物镜的偏心补偿量和轴向补偿量；

控制偏心促动器驱动偏心透镜移动偏心补偿量，及调节轴向透镜移动轴向补偿量，完成像质补偿。

10.如权利要求9所述的显微光学系统像质方法，其特征在于，所述球面反射镜的F数要小于等于所述物镜的F数。