[发明专利]一种陶瓷进气接射频清洗装置有效

专利信息
申请号: 201911421168.9 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN113130285B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 刘海洋;胡冬冬;李雪冬;李娜;程实然;张军;吴志浩;许开东 申请(专利权)人: 江苏鲁汶仪器有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 徐尔东
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 陶瓷 进气接 射频 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种陶瓷进气接射频清洗装置,包括设于腔室(1)中部的晶圆(3),设于腔室(1)顶部的耦合窗(10),位于耦合窗(10)中心区域的顶部陶瓷进气嘴(11),放置在耦合窗(10)上部的立体式线圈(80),所述立体式线圈(80)包括中心和边缘两个相互独立的单立体线圈,两个单立体线圈的一端连接在一起且接射频,另一端连接在一起且接地,其特征在于:包括刻蚀系统、清洗系统、电源控制装置以及射频清洗机构,其中:

所述电源控制装置与所述刻蚀系统和所述清洗系统连接,用于电源切换;

包括功率分配盒(4),所述刻蚀系统通过所述功率分配盒(4)的两线路分别与所述立体式线圈(80)的两个单立体线圈连接,来实现对腔室(1)内晶圆(3)的刻蚀;

所述清洗系统通过给射频清洗机构接射频,使得与射频清洗机构连接的顶部陶瓷进气嘴(11)下表面产生高负压,从而等离子体会直接轰击在顶部陶瓷进气嘴(11)下表面;

所述射频清洗机构包括依次连接的中心进气接头部(201)、边缘绝缘进气部(202)、中心射频进气部(203)、中心绝缘进气部(204)和顶部陶瓷进气部(205);

所述中心进气接头部(201)、所述边缘绝缘进气部(202)以及所述中心射频进气部(203)中部有连通的气体通道;

所述中心进气接头部(201)接地且可通清洁气体,所述中心射频进气部(203)接射频;

包括若干毛细管(2021)和若干狭窄气体通道(2041),所述若干毛细管(2021)设置于所述边缘绝缘进气部(202)中部气体通道内,所述若干狭窄气体通道(2041)均匀分布在所述中心绝缘进气部(204)边缘且与所述中心射频进气部(203)中部进气通道连通;

所述中心绝缘进气部(204)位于所述顶部陶瓷进气部(205)内部,所述中心绝缘进气部(204)顶部延伸至所述中心射频进气部(203)进气通道内。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述电源控制装置包括依次连接的射频电源、射频匹配器(701)和RF切换盒,通过RF切换盒在所述刻蚀系统与所述清洗系统之间切换。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述电源控制装置包括射频电源、RF切换盒、与刻蚀系统连接的线圈射频匹配器、与清洗系统连接的中心射频匹配器,所述射频电源输出端连接所述RF切换盒,通过RF切换盒在线圈射频匹配器与中心射频匹配器之间切换。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述电源控制装置包括线圈射频电源(603)、中心射频电源(604)、线圈射频匹配器、中心射频匹配器,所述线圈射频电源(603)输出端连接所述线圈射频匹配器,所述线圈射频匹配器输出端连接所述刻蚀系统;所述中心射频电源(604)输出端连接所述中心射频匹配器,所述中心射频匹配器输出端连接所述清洗系统。

5.根据权利要求1至权利要求4中任意一个所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述边缘绝缘进气部(202)长度大于等于5mm;每个毛细管(2021)和每个所述狭窄气体通道(2041)的横截面积均为0.05mm²~5mm²;所述中心绝缘进气部(204)顶部延伸至所述中心射频进气部(203)进气通道内的长度为大于等于2mm。

6.根据权利要求5所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述中心进气接头部(201)与所述边缘绝缘进气部(202)同轴,所述中心射频进气部(203)、所述中心绝缘进气部(204)以及所述顶部陶瓷进气部(205)同轴,所述边缘绝缘进气部(202)垂直于所述中心射频进气部(203)。

7.根据权利要求6所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:还包括调整件(206),所述调整件(206)为圆环结构,设于所述中心绝缘进气部(204)与所述顶部陶瓷进气部(205)之间,所述中心绝缘进气部(204)顶端延伸至所述中心射频进气部(203)进气通道部分径向宽度小于所述中心射频进气部(203)进气通道管径。

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