[发明专利]一种陶瓷进气接射频清洗装置有效
申请号: | 201911421168.9 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN113130285B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 刘海洋;胡冬冬;李雪冬;李娜;程实然;张军;吴志浩;许开东 | 申请(专利权)人: | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 徐尔东 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 进气接 射频 清洗 装置 | ||
1.一种陶瓷进气接射频清洗装置,包括设于腔室(1)中部的晶圆(3),设于腔室(1)顶部的耦合窗(10),位于耦合窗(10)中心区域的顶部陶瓷进气嘴(11),放置在耦合窗(10)上部的立体式线圈(80),所述立体式线圈(80)包括中心和边缘两个相互独立的单立体线圈,两个单立体线圈的一端连接在一起且接射频,另一端连接在一起且接地,其特征在于:包括刻蚀系统、清洗系统、电源控制装置以及射频清洗机构,其中:
所述电源控制装置与所述刻蚀系统和所述清洗系统连接,用于电源切换;
包括功率分配盒(4),所述刻蚀系统通过所述功率分配盒(4)的两线路分别与所述立体式线圈(80)的两个单立体线圈连接,来实现对腔室(1)内晶圆(3)的刻蚀;
所述清洗系统通过给射频清洗机构接射频,使得与射频清洗机构连接的顶部陶瓷进气嘴(11)下表面产生高负压,从而等离子体会直接轰击在顶部陶瓷进气嘴(11)下表面;
所述射频清洗机构包括依次连接的中心进气接头部(201)、边缘绝缘进气部(202)、中心射频进气部(203)、中心绝缘进气部(204)和顶部陶瓷进气部(205);
所述中心进气接头部(201)、所述边缘绝缘进气部(202)以及所述中心射频进气部(203)中部有连通的气体通道;
所述中心进气接头部(201)接地且可通清洁气体,所述中心射频进气部(203)接射频;
包括若干毛细管(2021)和若干狭窄气体通道(2041),所述若干毛细管(2021)设置于所述边缘绝缘进气部(202)中部气体通道内,所述若干狭窄气体通道(2041)均匀分布在所述中心绝缘进气部(204)边缘且与所述中心射频进气部(203)中部进气通道连通;
所述中心绝缘进气部(204)位于所述顶部陶瓷进气部(205)内部,所述中心绝缘进气部(204)顶部延伸至所述中心射频进气部(203)进气通道内。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述电源控制装置包括依次连接的射频电源、射频匹配器(701)和RF切换盒,通过RF切换盒在所述刻蚀系统与所述清洗系统之间切换。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述电源控制装置包括射频电源、RF切换盒、与刻蚀系统连接的线圈射频匹配器、与清洗系统连接的中心射频匹配器,所述射频电源输出端连接所述RF切换盒,通过RF切换盒在线圈射频匹配器与中心射频匹配器之间切换。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述电源控制装置包括线圈射频电源(603)、中心射频电源(604)、线圈射频匹配器、中心射频匹配器,所述线圈射频电源(603)输出端连接所述线圈射频匹配器,所述线圈射频匹配器输出端连接所述刻蚀系统;所述中心射频电源(604)输出端连接所述中心射频匹配器,所述中心射频匹配器输出端连接所述清洗系统。
5.根据权利要求1至权利要求4中任意一个所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述边缘绝缘进气部(202)长度大于等于5mm;每个毛细管(2021)和每个所述狭窄气体通道(2041)的横截面积均为0.05mm²~5mm²;所述中心绝缘进气部(204)顶部延伸至所述中心射频进气部(203)进气通道内的长度为大于等于2mm。
6.根据权利要求5所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:所述中心进气接头部(201)与所述边缘绝缘进气部(202)同轴,所述中心射频进气部(203)、所述中心绝缘进气部(204)以及所述顶部陶瓷进气部(205)同轴,所述边缘绝缘进气部(202)垂直于所述中心射频进气部(203)。
7.根据权利要求6所述的一种陶瓷进气接射频清洗装置,其特征在于:还包括调整件(206),所述调整件(206)为圆环结构,设于所述中心绝缘进气部(204)与所述顶部陶瓷进气部(205)之间,所述中心绝缘进气部(204)顶端延伸至所述中心射频进气部(203)进气通道部分径向宽度小于所述中心射频进气部(203)进气通道管径。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏鲁汶仪器有限公司,未经江苏鲁汶仪器有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911421168.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。