[发明专利]一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备

权利要求书

1.一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备，其特征在于：包括载料板(1)、叠层式载具(2)以及依次对接的第一预热腔(31)、第一工艺腔组、第一卸载腔(41)、翻片区(5)、第二预热腔(32)、第二工艺腔组和第二卸载腔(42)，所述第一工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔(6)，所述第二工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔(6)，各腔体内设有用于传输载料板(1)的传输机构，所述叠层式载具(2)设于载料板(1)上，所述叠层式载具(2)包括多层载具片(21)，所述翻片区(5)内设有出料工位(51)和进料工位(52)，所述出料工位(51)和进料工位(52)均设有传输机构，所述出料工位(51)和进料工位(52)之间设有将出料工位(51)上的叠层式载具(2)的载片取出并翻转180°之后再放在进料工位(52)的叠层式载具(2)上的取放片翻转装置。

2.根据权利要求1所述的制备异质结电池薄膜的PECVD设备，其特征在于：所述叠层式载具(2)还包括底座(22)和绝缘支撑杆(23)，所述绝缘支撑杆(23)固定在底座(22)上，所述多层载具片(21)安装在绝缘支撑杆(23)上，从上至下的各奇数层载具片(21)中，相邻两个奇数层载具片(21)之间通过第一电极块(24)连接，从上至下的各偶数层载具片(21)中，相邻两个偶数层载具片(21)之间通过第二电极块连接，第一层载具片(21)上设有顶层电极块(26)，第二层载具片(21)上设有次顶层电极块(27)，所述顶层电极块(26)上设有第一电极插孔(261)，所述次顶层电极块(27)设有第二电极插孔(271)。

3.根据权利要求2所述的制备异质结电池薄膜的PECVD设备，其特征在于：所述第一层载具片(21)设有用于避让次顶层电极块(27)的避让槽(211)；所述绝缘支撑杆(23)包括陶瓷支撑杆(231)和套于陶瓷支撑杆(231)上的多个陶瓷隔离套(232)，所述载具片(21)套在陶瓷支撑杆(231)上，且相邻两层载具片(21)通过一陶瓷隔离套(232)隔开。

4.根据权利要求2所述的制备异质结电池薄膜的PECVD设备，其特征在于：所述叠层式载具(2)包括多层多列载具片(21)，各列中层数对应的载具片(21)相互连接；所述叠层式载具(2)的材质为石墨、铝合金、钛合金、钢、陶瓷、石英中的至少一种。

5.根据权利要求2至4任意一项所述的制备异质结电池薄膜的PECVD设备，其特征在于：所述工艺腔(6)外侧设有电极组件(7)，所述电极组件(7)包括第一电极杆(71)、第二电极杆(72)和竖向往复移动电缸(73)，所述竖向往复移动电缸(73)设置在工艺腔(6)的一固定座(74)上，所述第一电极杆(71)、第二电极杆(72)均与竖向往复移动电缸(73)的电缸滑块(731)连接，所述第一电极杆(71)一端与射频电源连接，另一端穿过工艺腔(6)与叠层式载具(2)上的第一电极插孔(261)插接，所述第二电极杆(72)一端与射频电源连接，另一端穿过工艺腔(6)与叠层式载具(2)上的第二电极插孔(271)插接，所述第一电极杆(71)、第二电极杆(72)均配设一波纹管(75)，所述波纹管(75)套在第一电极杆(71)或第二电极杆(72)上并与工艺腔(6)抵接，所述第一电极杆(71)与第二电极杆(72)二者一个为正极一个为负极。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的制备异质结电池薄膜的PECVD设备，其特征在于：所述第一预热腔(31)、第一工艺腔组、第一卸载腔(41)、翻片区(5)、第二预热腔(32)、第二工艺腔组和第二卸载腔(42)呈U形结构分布，所述翻片区(5)位于U形结构的底部，所述第一预热腔(31)、第二预热腔(32)和各工艺腔(6)内设有板式加热器(8)，所述第一卸载腔(41)与第二卸载腔(42)均设有进气系统，各工艺腔(6)均设有进气系统。