[发明专利]超薄液膜旋离式汽化装置

权利要求书

1.一种超薄液膜旋离式汽化装置，其特征是，设有横置式等截面夹套筒体、物料预热装置、载气加热装置、前驱体原料混合汽混合装置和供热装置，所述夹套筒体的内部设有刮板，所述夹套筒体的前后两端设有刮板支撑端盖及密封盖，所述支撑端盖内部设有加热管，所述夹套筒体的前端通过顶部物料进口和侧面载气进口分别与所述物料预热装置和所述载气加热装置相连接，所述夹套筒体的后端通过尾部混合汽出口和筒体进出油口分别与所述前驱体原料混合汽混合装置和供热装置相连接，所述刮板通过电机驱动旋转将预热预混后的物料汽化形成超薄液膜，所述超薄液膜通过所述夹套筒体内壁加热汽化并与热的载气混合形成混合汽，所述混合汽经所述尾部混合汽出口进入所述前驱体原料混合汽混合装置，经强制混合均匀后进入镀膜反应器。

2.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述刮板为六片式对称固定刮板，所述刮板将所述筒体内部分隔成预混合区、强制汽化区和均化稳定区，所述刮板位于所述强制汽化区内，所述物料预热装置和载气加热装置与所述预混合区直接连通，所述前驱体原料混合汽混合装置与所述均化稳定区直接连通。

3.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述顶部物料进口与所述侧面载气进口成90°夹角布置在所述预混合区域内，并位于同一截面。

4.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述原料预热装置包括预热器、物料流量计和导热油炉阀门，在所述预热器上设有热电偶，所述预热器预热温度为160±1℃。

5.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述前驱体原料混合汽混合装置包括混合器、电伴热保温管道、电伴热带和贴片热电阻，混合汽通过所述电伴热保温管道进行输送，电伴热保温管控制温度为180±1℃。

6.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述载气加热装置包括载气加热器、加热器热电偶、减压器、阀门和储罐，载气加热器与储罐之间还设有载气流量计以控制载气流量，载气流量计控制筒体的截面流速范围为0.3-1m/s。

7.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述供热装置包括油泵、导热油炉、导热热电偶和导热油炉阀门，通过筒体进出油口将热介质输入筒体夹套内部，同时该供热装置也为所述原料预热装置、载气加热装置和所述筒体端盖内的加热管提供热介质，所述热介质为导热油，由供热装置中的导热油炉加热，并形成导热油密闭循环，所述导热油温度为180±1℃。

8.根据权利要求1所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述超薄液膜旋离式汽化装置汽化面积1.6-1.9平方米，物料汽化量达1.8-2.1kg/min，所述物料为有机锡化合物。

9.根据权利要求2所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述强制汽化区内的六片式对称固定刮板与所述筒体内壁间隙小于1mm，所述刮板线速度为10-12m/s。

10.根据权利要求5所述超薄液膜旋离式汽化装置，其特征在于，所述混合器上设有混合汽流量计，所述混合汽流量计能够在线监控汽化效率，通过调整筒体加热温度、刮板转速、载气流量改变物料汽化效率。