[发明专利]碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法及其装置在审
申请号: | 201911422183.5 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN110965080A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 李再强;尹雄威;梁军;梁民 | 申请(专利权)人: | 深圳市祺鑫天正环保科技有限公司 |
主分类号: | C25C1/12 | 分类号: | C25C1/12;C25C7/06;B01D53/14;B01D53/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 杨小鑫 |
地址: | 518125 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碱性 蚀刻 废液 系统 氨气 处理 方法 及其 装置 | ||
本发明公开一种碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法及其装置。其中,所述碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法包括以下步骤:采用盐酸溶液对碱性蚀刻废液提铜系统中产生的氨气进行吸收,得到吸收液;当所述吸收液中氯离子浓度达到预设浓度阈值,或者所述吸收液的比重达到预设比重阈值时,向所述吸收液中加入氨类助剂,形成碱性蚀刻子液并补充至蚀刻工序中。本发明的技术方案能够降低氨气的处理成本,并且实现资源的回收利用。
技术领域
本发明涉及电路板碱性蚀刻废液处理技术领域,特别涉及一种碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法及其装置。
背景技术
相关技术中,碱性蚀刻废液中提铜工艺通常采用直接电解工艺,即将蚀刻废液直接通入电解装置中进行电解,得到金属铜和低铜浓度的电解液,并向低铜浓度的电解液中补充氯离子和铵根离子,以作为再生子液循环回用至蚀刻工序中。但是直接电解工艺中由于电解操作会产生大量的热量,使得电解液中的铵根离子受热挥发为氨气,氨气若处理不当则会造成大气污染。相关技术中氨气的处理方法通常是采用硫酸溶液进行吸收,形成硫酸铵溶液,其氨氮值较高,高达180000ppm,处理达标排放需要的成本较高,且不能实现资源的回收利用。
上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案,并不代表承认上述内容是现有技术。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法及其装置,旨在降低氨气的处理成本,并且实现资源的回收利用。
为实现上述目的,本发明提出的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法,包括以下步骤:
采用盐酸溶液对提铜系统中产生的氨气进行吸收,得到吸收液;
当所述吸收液中氯离子浓度达到预设浓度阈值,或者所述吸收液的比重达到预设比重阈值时,向所述吸收液中加入氨类助剂,形成碱性蚀刻子液并补充至蚀刻工序中。
可选地,在采用盐酸溶液对碱性蚀刻废液提铜系统中产生的氨气进行吸收,得到吸收液的步骤中,包括:
向盐酸溶液持续不断地通入提铜系统中产生的氨气,并控制pH值范围为4.5至6.0,得到吸收液。
可选地,所述盐酸溶液的质量分数大于或等于31%。
可选地,所述氨类助剂为液氨或氨水。
可选地,所述氨类助剂的加入量为所述吸收液质量的8%至12%。
可选地,在当所述吸收液中氯离子浓度达到预设浓度阈值,或者所述吸收液的比重达到预设比重阈值时,向所述吸收液中加入氨类助剂的步骤中,还包括:向所述吸收液中还加入蚀刻添加剂,以提高蚀刻速率。
可选地,所述蚀刻添加剂加入量为所述吸收液质量的0.2%至0.5%。
本发明还提出了碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理回用装置,应用于如前所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法,所述碱性蚀刻废液提铜系统包括电解装置,所述氨气处理回用装置包括:盐酸添加桶,所述盐酸添加桶用于容置盐酸溶液;废气吸收塔,所述废气吸收塔的进液口连通于所述盐酸添加桶的出口;氨气收集桶,所述氨气收集桶的进口连通所述电解装置的出口,所述氨气收集桶的出口连通于所述废气吸收塔的进气口;以及吸收液调配桶,所述吸收液调配缸的进口连通于所述废气吸收塔的液体出口,所述吸收液调配缸的出口连通于蚀刻工序的蚀刻槽。
可选地,所述氨气处理回用装置还包括pH值控制器,所述盐酸添加桶与所述废气吸收塔连通的管道上设置添加泵,所述添加泵电性连接于所述pH值控制器。
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