[发明专利]一种抛光设备

权利要求书

1.一种抛光设备，其特征在于，包括：

工作台(1)，其上设置有一个上下料工位(11)和多个相分隔的抛光工位(12)；

抛光盘(2)，每个所述抛光工位(12)均设置有一个所述抛光盘(2)；

抛光盘清洗器(3)，每个所述抛光工位(12)均设置有一个所述抛光盘清洗器(3)，且所述抛光盘清洗器(3)可转动地设置在所述抛光盘(2)的一侧；

转盘(4)，可转动地设置在所述工作台(1)的上方；

抛光头组件(5)，沿竖直方向可升降地设置在所述转盘(4)上，多组所述抛光头组件(5)沿所述转盘(4)的周向均匀分布；

所述转盘(4)能够带动多组所述抛光头组件(5)转动，以使其中一组所述抛光头组件(5)与所述上下料工位(11)相对并吸附位于所述上下料工位(11)的待抛光的晶圆(100)，同时使其余组所述抛光头组件(5)与所述抛光盘(2)一一相对，所述抛光头组件(5)能够与所述抛光盘(2)相配合对所述晶圆(100)进行抛光。

2.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括传送机构(6)，所述传送机构(6)沿水平方向可移动地设置在所述工作台(1)上，以将放置在其上的待抛光的所述晶圆(100)移动至所述上下料工位(11)。

3.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括抛光头清洗器(7)，所述抛光头清洗器(7)可升降地设置在所述上下料工位(11)上，所述转盘(4)能够带动所述抛光头组件(5)转动至所述抛光头清洗器(7)的上方，以使所述抛光头清洗器(7)能够清洗所述抛光头组件(5)。

4.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，多个所述抛光工位(12)的抛光精度依次增高。

5.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，还包括装载机械手(8)，所述工作台(1)上还设置有装载区(13)，盛装有待抛光的所述晶圆(100)的装载晶圆盒(200)能够放置在所述装载区(13)，所述装载机械手(8)能够将所述晶圆(100)由所述装载晶圆盒(200)中取出并放置在所述传送机构(6)上。

6.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括卸载传送机构(9)，所述卸载传送机构(9)可转动地设置在所述工作台(1)上且能够转动至所述上下料工位(11)，以使所述抛光头组件(5)能够将抛光后的所述晶圆(100)放置在所述卸载传送机构(9)上。

7.根据权利要求6所述的抛光设备，其特征在于，还包括卸载机械手(10)，所述工作台(1)上还设置有卸载区(14)，卸载晶圆盒(300)能够放置在所述卸载区(14)，所述卸载机械手(10)能够将所述卸载传送机构(9)上的所述晶圆(100)放入至所述卸载晶圆盒(300)中。

8.根据权利要求7所述的抛光设备，其特征在于，所述卸载区(14)设置有水槽(15)，盛装有所述晶圆(100)的所述卸载晶圆盒(300)能够浸没在所述水槽(15)中。

9.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述工作台(1)上还设置有隔板(16)，所述隔板(16)将所述工作台(1)分隔出所述上下料工位(11)和多个所述抛光工位(12)。

10.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，每组所述抛光头组件(5)包括至少两个抛光头(51)，以使至少两片所述晶圆(100)能够在同一个所述抛光盘(2)上抛光。