[发明专利]压电MEMS麦克风及压电MEMS麦克风的制备方法

权利要求书

1.一种压电MEMS麦克风，其特征在于，包括至少一个压电MEMS单元，所述压电MEMS单元包括：

基底，包括围成收容腔的环形周壁；

支撑件，包括设于所述收容腔并与所述周壁间隔设置的悬置支撑部及自所述周壁延伸至所述悬置支撑部的延伸臂；

膜片结构，部分固定于所述悬置支撑部，所述膜片结构具有固定于所述悬置支撑部连接的锚定部及与所述锚定部连接的活动部，所述活动部沿所述基底的轴向的正投影落入所述收容腔内。

2.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述基底包括位于所述活动部靠近所述支撑件一侧的第一基板，所述收容腔包括形成于所述第一基板的第一腔体，所述周壁包括围成所述第一腔体的第一周壁，所述延伸臂自所述第一周壁延伸至所述悬置支撑部，所述悬置支撑部设于所述第一腔体并与所述第一周壁间隔设置。

3.根据权利要求2所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述悬置支撑部朝向所述膜片结构的一侧面与所述第一基板朝向所述膜片结构的一侧面平齐，所述膜片结构悬置于所述第一腔体外。

4.根据权利要求2所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述基底还包括叠设于所述第一基板的第二基板，所述收容腔还包括形成于所述第二基板的第二腔体，所述周壁还包括围成所述第二腔体的第二周壁，所述膜片结构悬置于所述第二腔体并与所述第二周壁间隔设置。

5.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述基底包括第一基板和设于所述第一基板的支撑板，所述收容腔包括形成于所述第一基板的第一腔体和形成于所述支撑板的第三腔体，所述周壁包括围成所述第一腔体的第一周壁和围成所述第三腔体的第三周壁，所述延伸臂自所述第三周壁延伸至所述悬置支撑部，所述悬置支撑部设于所述第三腔体并与所述第三周壁间隔设置。

6.根据权利要求5所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述第三周壁包括与所述活动部正对且间隔设置的外延壁以及设置在所述外延壁与所述第一基板之间的固定壁，所述延伸臂自所述固定壁延伸，所述外延壁沿垂直于所述活动部的振动方向的方向上的厚度小于所述固定壁。

7.根据权利要求6所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述悬置支撑部与所述固定壁正对。

8.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片结构包括至少两个相互间隔设置的所述活动部，所述活动部与所述锚定部一一对应。

9.根据权利要求8所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片结构沿振动方向包括依次层叠的第一电极片、第一压电膜片和第二电极片，所述第一电极片设置于所述膜片结构靠近所述悬置支撑部的一侧。

10.根据权利要求9所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片结构还包括叠设在所述第二电极片上的第二压电膜片以及叠设在所述第二压电膜片上的第三电极片。

11.根据权利要求1-10任一项所述的压电MEMS麦克风，所述压电MEMS麦克风包括若干个所述压电MEMS麦克风，所述若干个压电MEMS单元拼接成所述压电MEMS麦克风。

12.根据权利要求11所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述若干个压电MEMS单元呈阵列结构分布。