[发明专利]氧化锌基透明电极光电探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取形成有光电探测器的基板；

提供锌源、掺杂金属源和水，在温度为300～450℃条件下，在所述光电探测器远离所述基板的一侧表面沉积形成氧化锌基透明电极层，得到氧化锌基透明电极光电探测器。

2.如权利要求1所述的氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，提供锌源、掺杂金属源和水的步骤包括：以8×10^-5～4×10^-4摩尔/分钟的流量提供锌源，以7×10^-6～4×10^-5摩尔/分钟的流量提供掺杂金属源，以7×10^-4～4×10^-3摩尔/分钟的流量提供水；和/或，

沉积形成氧化锌基透明电极层的压力为6～12Torr；和/或，

所述光电探测器包括光敏半导体层和阻挡半导体层。

3.如权利要求2所述的氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，在所述光电探测器远离所述基板的一侧表面沉积形成氧化锌基透明电极层的步骤包括：

以8×10^-5～4×10^-4摩尔/分钟的流量提供锌源，以7×10^-6～4×10^-5摩尔/分钟的流量提供掺杂金属源，以1×10^-3～4×10^-3摩尔/分钟的流量提供水，在温度为300～400℃，压力为6～12Torr的条件下，在所述光电探测器远离所述基板的一侧表面沉积形成第一氧化锌基透明电极层；

以8×10^-5～4×10^-4摩尔/分钟的流量提供锌源，以7×10^-6～4×10^-5摩尔/分钟的流量提供掺杂金属源，以7×10^-4～1×10^-3摩尔/分钟的流量提供水，在温度为400～450℃，压力为6～12Torr的条件下，在所述第一氧化锌基透明电极层表面沉积形成第二氧化锌基透明电极层。

4.如权利要求3所述的氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，所述阻挡半导体层包括：TiO₂、掺杂TiO₂、NiO、CuO、SnSe中的至少一种；和/或，

所述光敏半导体层包括：CdS、ZnO、掺杂ZnO中的至少一种；和/或，

所述阻挡半导体层的厚度为50～500nm；和/或，

所述光敏半导体层的厚度为20～500nm。

5.如权利要求4所述的氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，所述锌源选自：二乙基锌、三甲基锌中的至少一种；和/或，

所述掺杂金属源选自：铝源、铟源、镓源中的至少一种。

6.如权利要求5所述的氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，所述铝源选自三甲基铝；和/或，

所述铟源选自三甲基铟；和/或，

所述镓源选自三乙基镓。

7.如权利要求3～6任一所述的氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，其特征在于，所述氧化锌基透明电极层中，掺杂的金属元素与锌元素的质量比为1％～10％；和/或，

所述第一氧化锌基透明电极层的厚度为10～50nm；和/或，

所述第二氧化锌基透明电极层的厚度为90～450nm；和/或，

所述氧化锌基透明电极层的厚度为100～500nm。

8.一种氧化锌基透明电极光电探测器，其特征在于，包括光电探测器和氧化锌基透明电极层，所述光电探测器与所述氧化锌基透明电极层之间形成有富氢层，所述氧化锌基透明电极层中包含有金属掺杂元素。