[发明专利]托盘及具有该托盘的机台

说明书

本发明提供一种托盘及具有该托盘的机台，所述托盘包括一基座、多个第一支撑柱以及多个第二支撑柱，其中所述多个第一支撑柱以及所述多个第二支撑柱设置于所述基座上，所述多个第一支撑柱沿所述基座的中心线排列设置，所述多个第二支撑柱分散设置于除了所述基座的中心线的周围。本发明藉由减少基板与托盘的支撑结构的接触面积，从而防止显示面板生产过程中的良率损失。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种防止静电产生的托盘及具有该托盘的机台。

背景技术

在显示面板制程设备中托盘(Tray)作为基板(如薄膜晶体管阵列基板)的转移机构，在机台中用来将基板转移到工作台上，进行例如沉积、曝光和蚀刻显影等制程。然而在显示面板检测时有高达约10％的暗点产生，且暗点的分布位置与托盘的支撑结构所产生的静电呈正相关，严重影响显示面板的良率。

因此，为了防止静电产生造成基板的损害，有必要提供一种托盘及具有该托盘的机台，以解决现有技术存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种托盘及具有该托盘的机台，以防止静电产生造成基板的短路及损害。为实现上述目的，本发明第一方面提供一种托盘，包括:

一基座；

多个第一支撑柱，设置于所述基座上；以及

多个第二支撑柱，设置于所述基座上；

其中所述多个第一支撑柱沿所述基座的中心线排列设置，所述多个第二支撑柱分散设置于除了所述基座的中心线的周围。

可选地，所述多个第一支撑柱为抗静电材质，所述多个第二支撑柱为非导电材质。

可选地，所述多个第一支撑柱以及所述多个第二支撑柱均为抗静电材质。

进一步地，所述多个第一支撑柱以等间距沿所述基座的中心线排列设置。

可选地，所述多个第一支撑柱至少排列两排。

进一步地，所述多个第一支撑柱的高度由两侧往中心递减。

进一步地，所述多个第二支撑柱的高度由外圈往内圈递减。

进一步地，所述多个第一支撑柱的直径为5毫米至15毫米。

进一步地，所述多个第一支撑柱的直径为5毫米至25毫米。

本发明第二方面提供一种机台，其包括上述的托盘。

本发明通过减少基板与托盘的支撑结构的接触面积，减少基板从托盘卸载时可能产生静电，避免静电破坏基板上的半导体元件，从而防止液晶面板生产过程中的良率损失。另一方面，托盘的支撑结构可使用抗静电材质，进一步减少静电产生。

附图说明

图1为本发明实施例的托盘示意图。

图2为本发明实施例的基板从托盘的第一支撑柱剥离的示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并对本发明作进一步地详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，本发明说明书所使用的词语“实施例”意指用作实例、示例或例证，并不用于限定本发明。

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的实施例。本发明所提到的方向用语，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。