[发明专利]真空压力计响应时间测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 201911425701.9 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111044219A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 王迪;陈林;林琳;郜晨希;刘瑞琪;远雁;郑旭;李超波;张心强;靳毅 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所;川北真空科技(北京)有限公司
主分类号: G01L27/00 分类号: G01L27/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 方丁一
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 真空 压力计 响应 时间 测量 装置 方法
【说明书】:

一种真空压力计响应时间测量装置,应用于压力计技术领域,包括:充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给稳压腔内冲入气体,直至其压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在该压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启,以使稳压腔内的气体进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于采集待测真空压力计的输出信号。本申请还公开了一种真空压力计响应时间测量方法,可根据输出信号,分析真空压力计的响应时间。

技术领域

本申请涉及压力计技术领域,尤其涉及一种真空压力计响应时间测量装置及方法。

背景技术

在真空压力计研发和某些对响应时间敏感的场合下,真空压力计响应时间都是真空压力计的一个重要参数。在研发和测试过程中较为方便地对真空压力计的响应时间进行测量,不仅能够对真空压力计的性能进行考察,也对研发过程有指导意义。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种真空压力计响应时间测量装置及方法,可测量真空压力计的响应时间。

为实现上述目的,本申请实施例第一方面提供一种真空压力计响应时间测量装置,包括:

充气装置、标准真空压力计、稳压腔、阀门、测试腔和数据采集模块;

所述充气装置上安装有所述标准真空压力计,所述充气装置与所述稳压腔连通,所述稳压腔和所述测试腔连接,且所述稳压腔和所述测试腔之间设置有所述阀门,待测真空压力计安装在所述测试腔上,所述数据采集模块连接所述待测真空压力计;

所述标准真空压力计,用于测量所述充气装置内的压力;

所述充气装置,用于给所述稳压腔内冲入气体,直至所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值;

所述阀门,用于在所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值后开启所述阀门,以使所述稳压腔内的气体通过所述阀门进入所述测试腔,所述待测真空压力计测量所述测试腔得到的实时压力值;

所述数据采集模块,用于按照预设采样频率采集所述待测真空压力计的输出信号。

进一步地,所述测试腔的形状为球体或圆柱体。

进一步地,所述稳压腔的体积大于所述测试腔的体积。

进一步地,所述预设采样频率大于一千赫兹。

本申请实施例第二方面提供一种真空压力计响应时间测量方法,包括:

给稳压腔内冲入气体,直至标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值;

在标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启所阀门,以使稳压腔内的气体通过阀门进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔得到的实时压力值;

按照预设采样频率采集待测真空压力计的输出信号。

进一步地,所述按照预设采样频率采集待测真空压力计的输出信号之后,还包括:

根据所述待测真空压力计的输出信号,分析所述待测真空压力计的响应时间。

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