[实用新型]用于柔性压力传感器的石墨烯复合结构及柔性压力传感器

权利要求书

1.一种用于柔性压力传感器的石墨烯复合结构，其特征在于，包括：

柔性微结构衬底，所述柔性微结构衬底包括：

第一平面基底；

和，第二平面基底；所述第二平面基底与所述第一平面基底相向的一侧设置有微结构阵列，所述微结构阵列与第二平面基底一体成型，所述微结构阵列中每列微结构尺寸相同，第n列微结构的尺寸与第n+m列微结构的尺寸相同，第n列至第n+m-1的尺寸递增或递减，其中：n选取≥1的整数，m选取≥2的整数；

和，石墨烯导电涂层，所述石墨烯导电涂层包括：

第一石墨烯导电涂层；所述第一石墨烯导电涂层涂覆在与第二平面基底相向的所述第一平面基底的一侧；

和，第二石墨烯导电涂层，第二石墨烯导电涂层涂覆在所述微结构阵列上。

2.根据权利要求1所述的石墨烯复合结构，其特征在于，微结构均匀分布于第二平面基底上，微结构的设计密度为(49-100)个/μm²。

3.根据权利要求1所述的石墨烯复合结构，其特征在于，微结构的形状为圆锥状、圆柱状、棱锥状、棱柱状或半球状。

4.根据权利要求1所述的石墨烯复合结构，其特征在于，微结构的形状为棱锥状，并且n＝1，m＝3，此时第1列微结构的高度尺寸为120-150μm，第2列微结构的高度尺寸为80-110μm，第3列微结构的高度尺寸为40-70μm。

5.根据权利要求1所述的石墨烯复合结构，其特征在于，所述柔性微结构衬底的材质包括：聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯醇缩丁醛、乙烯-醋酸乙烯共聚物或聚乙烯醇缩醛。

6.根据权利要求1所述的石墨烯复合结构，其特征在于，所述石墨烯导电涂层的材质包括：本征石墨烯，还原氧化石墨烯，化学气相沉积石墨烯，氮掺杂石墨烯或磷掺杂石墨烯。

7.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括：

权利要求1-6之一所述石墨烯复合结构；

将权利要求1-6之一所述石墨烯复合结构封装固定成三明治状的封装薄膜；

第一导线；所述第一导线连接在第一石墨烯导电涂层上；

和，第二导线；所述第二导线连接在第二石墨烯导电涂层上。

8.根据权利要求7所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述封装薄膜的材质为聚对苯二甲酸类塑料。

9.根据权利要求7所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述第一导线和第二导线为锡焊连接铜导线。