[实用新型]一种磁控溅射设备抽气装置

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射设备抽气装置，包括抽气接头、接头卡环、单向阀、存气腔、限位环、抽气活塞、抽气机外壁、活动腔、活塞杆、液压缸、出气管、缓流室、缓流室进气端、缓流挡板和缓流室出气端，所述抽气机外壁的一端设有抽气接头，在上固定有接头卡环，所述抽气接头通过抽气管道与抽气机外壁连接，在该抽气管道上还安装有单向阀，所述抽气机外壁的内表面上固定有限位环，所述限位环将抽气机外壁所围成的内部区域分割为存气腔和活动腔，其中存气腔位于抽气接头与限位环之间，所述活动腔内安装有抽气活塞。本实用新型能够较为精确的控制溅射室内的气压，使得溅射室内的气压必定会被抽气装置抽成气压预设值。

技术领域

本实用新型涉及工业机械领域，尤其是涉及一种磁控溅射设备抽气装置。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

因为磁控溅射是在低气压下进行高速溅射，并非完全真空环境，需要对溅射室内的气压进行精确把握，避免溅射室内部的气压过高或过低。现有的抽气装置多数不具备精确确定被抽气区域气压的功能，即便是在被抽气区域设置气压传感器，以此来控制抽气装置的运行，也会因为设备延迟而造成气压控制不精确。且溅射室内又会发生高速溅射，还不利于气压传感器正常工作。

发明内容

本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

一种磁控溅射设备抽气装置，包括抽气接头、接头卡环、单向阀、存气腔、限位环、抽气活塞、抽气机外壁、活动腔、活塞杆、液压缸、出气管、缓流室、缓流室进气端、缓流挡板和缓流室出气端，所述抽气机外壁的一端设有抽气接头，在上固定有接头卡环，所述抽气接头通过抽气管道与抽气机外壁连接，在该抽气管道上还安装有单向阀，所述抽气机外壁的内表面上固定有限位环，所述限位环将抽气机外壁所围成的内部区域分割为存气腔和活动腔，其中存气腔位于抽气接头与限位环之间，所述活动腔内安装有抽气活塞，所述抽气活塞安装在活塞杆上，所述活塞杆贯穿抽气机侧面的抽气机外壁并连接在液压缸的缸体上，即活塞杆充当液压缸的伸缩杆，所述存气腔处的抽气机外壁上连通有出气管，在该出气管上安装有缓流室和单向阀，其中缓流室位于存气腔和单向阀之间。

作为本实用新型进一步的方案：所述接头卡环与抽气接头一体成型，该抽气接头通过螺纹连接安装在单向阀的输入端，所述单向阀的输出端通过螺纹连接安装在抽气管道上，该抽气管道焊接在抽气机外壁上。

作为本实用新型进一步的方案：所述单向阀有两个，其中一个与抽气接头连接，另一个单向阀与缓流室连接，所述缓流室包括缓流室进气端、缓流挡板和缓流室出气端，所述缓流室进气端通过螺纹连接出气管，所述缓流室出气端通过螺纹连接在单向阀的输入端。

作为本实用新型进一步的方案：所述抽气活塞通过螺栓连接安装在活塞杆上，该活塞杆贯穿抽气机外壁，且在活塞杆贯穿处的抽气机外壁上安装有密封圈。

作为本实用新型进一步的方案：所述缓流室的室内分布有若干缓流挡板，该缓流挡板与缓流室一体铸造成型。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型能够较为精确的控制溅射室内的气压，使得溅射室内的气压必定会被抽气装置抽成气压预设值。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明