[实用新型]一种硅片周转装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片周转装置，包括底座和承重板，所述底座的顶部外壁两侧均焊接有减震弹簧，且两个减震弹簧的顶部外壁均焊接有同一个缓冲板，所述承重板的顶部外壁两侧均开有滑块滑槽，且两个滑块滑槽的内壁均滑动连接有滑块，两个所述滑块的顶部外壁均焊接有夹板，所述承重板的顶部外壁通过螺钉固定有限位筒，且限位筒的一侧内壁滑动连接有滑竿，所述滑竿的顶部外壁焊接有连接板。本实用新型可以快速调节两个夹板之间的距离，便于夹持固定不同尺寸的硅片，拓宽了该装置适用范围，可以保证稳定夹持硅片，避免硅片在周转的过程中晃动产生磨损，可以有效减小运输过程中硅片受到的振动，减轻了搬运重量。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产装置技术领域，尤其涉及一种硅片周转装置。

背景技术

硅片在加工过程中需要经过若干道工序，每道工序之间对于硅片的输送均需要通过硅片周转车进行周转，以便于快速的将硅片运输到不同的加工车间和加工装置处。

目前现有技术中使用的硅片周转车，其通常为固定结构，一般包括车板和存放箱，车板底部设置有万向滚轮，存放箱设置在车板顶部，将硅片放置在存放箱内部进行运输，在运输过程中车板发生振动时各个硅片之间相互摩擦，容易影响硅片质量，而且将多个硅片堆积在存放箱内部时，不便于取出，操作十分不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片周转装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片周转装置，包括底座和承重板，所述底座的顶部外壁两侧均焊接有减震弹簧，且两个减震弹簧的顶部外壁均焊接有同一个缓冲板，所述承重板的顶部外壁两侧均开有滑块滑槽，且两个滑块滑槽的内壁均滑动连接有滑块，两个所述滑块的顶部外壁均焊接有夹板，所述承重板的顶部外壁通过螺钉固定有限位筒，且限位筒的一侧内壁滑动连接有滑竿，所述滑竿的顶部外壁焊接有连接板，且连接板的底部外壁两侧和两个夹板的一侧外壁底部均通过铰链连接有连接杆，所述承重板的底部外壁四角均焊接有支撑杆，且四个支撑杆的一侧外壁均通过铰链连接有滚轮，所述缓冲板的顶部外壁四角均开有滚轮槽，且四个滚轮分别放置于四个滚轮槽的内壁。

优选的，两个所述夹板的一侧外壁均通过螺钉固定有等距离线性分布的夹环，且两个相邻夹环的相对一侧外壁均焊接有缓冲弹簧，夹环为U形结构，夹环由橡胶制成。

优选的，所述承重板的顶部外壁两侧均通过螺钉固定有提柄，且两个提柄的一侧外壁顶部均焊接有U形把手。

优选的，所述承重板的底部外壁两侧均焊接有固定板，且两个固定板的一侧内壁均通过螺纹连接有螺纹杆，缓冲板的两侧外壁均开有固定槽，两个固定槽的规格与两个螺纹杆的规格相适配。

优选的，所述滑竿的一侧外壁套接有固定环，且固定环的一侧外壁焊接有限位杆。

优选的，所述限位筒的一侧外壁开有限位槽，且限位槽的规格与限位杆的规格相适配。

优选的，所述底座的底部外壁四角均开有安装槽，且四个安装槽的内壁均通过螺钉固定有脚刹万向轮。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片周转装置，具备以下有益效果：

1.该硅片周转装置，通过设置的限位筒、转动环、限位杆、滑竿、连接杆和滑块，推动滑竿滑动，连接杆拉动两个夹板移动，可以快速调节两个夹板之间的距离，便于夹持固定不同尺寸的硅片，拓宽了该装置适用范围。

2.该硅片周转装置，通过设置的夹环和缓冲弹簧，橡胶材质的夹环增加与硅片之间的摩擦力，U形结构的夹环和缓冲弹簧相配合，挤压夹持硅片，可以保证稳定夹持硅片，避免硅片在周转的过程中晃动产生磨损。