[实用新型]一种多晶硅料的清洗装置有效
| 申请号： | 201920016697.X | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN209680675U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王文明;牛强;周斌;颜艺专 | 申请（专利权）人： | 内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王文君;王文红<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 016064 内蒙古自治区鄂尔多斯*** | 国省代码： | 内蒙;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅料 酸液回收罐 清洗液罐 本实用新型 清洗装置 纯水罐 管连接 混合酸 酸蒸汽 蒸汽 清洗 硅料清洗装置 水蒸汽进口 传统超声 多晶硅料 加热装置 密闭体系 清洗操作 清洗效率 容器顶部 整体体系 重力自流 装置提供 进口管 酸浸泡 液相酸 原生硅 扩散 | ||
1.一种多晶硅料的清洗装置，其特征在于，包括加热装置、酸清洗液罐、纯水罐、硅料容器、冷却器、酸液回收罐；
在所述酸清洗液罐和纯水罐的底部设置所述加热装置，所述酸清洗液罐顶部通过酸蒸汽进口管连接于所述的硅料容器，所述纯水罐通过水蒸汽进口管连接于所述的硅料容器；所述硅料容器顶部顺序连接所述冷却器和酸液回收罐，所述酸液回收罐通过重力自流管连接所述清洗液罐。
2.根据权利要求1所述的多晶硅料的清洗装置，其特征在于，所述酸清洗液罐顶部通过酸蒸汽进口管连接于所述的硅料容器的底部；所述纯水罐顶部通过所述水蒸汽进口管连接于所述的硅料容器的底部。
3.根据权利要求1所述的多晶硅料的清洗装置，其特征在于，所述加热装置为管式电加热器。
4.根据权利要求1所述的多晶硅料的清洗装置，其特征在于，所述硅料容器为聚四氟乙烯材质，容器的横截面为圆形或椭圆形。
5.根据权利要求1～4任一项所述的多晶硅料的清洗装置，其特征在于，所述硅料容器的器壁上连接有抽真空装置。
6.根据权利要求1～4任一项所述的多晶硅料的清洗装置，其特征在于，在硅料容器的下部设置有蒸汽分布器，所述酸蒸汽进口管和所述水蒸汽进口管均连接所述蒸汽分布器。
7.根据权利要求6所述的多晶硅料的清洗装置，其特征在于，所述蒸汽分布器包括多孔板，板上开孔的直径为1-2mm。
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