[实用新型]一种PVD载板清洗机

说明书

本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。本实用新型通过计算机程序编辑控制准确完成编程中设定的每道清洗动作及流程，以高度自动化程序取代人员操作，具有稳定清洗产能及清洗质量，避免人员暴露在危险操作中。

技术领域

本实用新型涉及PVD载板清洗设备技术领域，尤其涉及一种PVD载板清洗机。

背景技术

传统清洗机目前设计还停留在半自动或是纯手动操作清洗阶段,在清洗过程中每个动作都需要依赖操作人员按工艺需求一键一键以主观视觉方式进行清洗作业，此种清洗设备会消耗大量的人力及左右清洗的职量稳定性，在不同的人为主观意识下，经常发生清洗时间过长或清洗不干净，清洗药议浓度不一，造成清洗效果职量不稳定的状况发生，对于使用高腐蚀的围险液体之清洗机，更存在为害人体之职业伤害风险。

传统清洗机之诸多缺陷因素，因此需要一种全部清洗流程是采用电脑程序编辑控制，取代人为主观视觉控制，全程自动化之程序编辑控制方式，改变目前清洗设备传统控制方式，更有效地满足现有PVD载板清洗设备在清洗职量及成本控制的需求。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种具有稳定清洗产能及稳定清洗质量，避免人员暴露在危险操作中的一种PVD载板清洗机。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。

进一步的，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽分别设有单独的传感器及电磁阀控制，利用传感器及电磁阀控制以进行清洗液之自动补液及换液，避免人员暴露在危险操作中。

进一步的，所述远程终端为手机、电脑、平板电脑中的一种。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型采用的多片式花篮设计，可以一次性完成多片载板的承载，进行一次性清洗，提高清洗产能，采用计算机程序编辑控制，准确地控制各阶段复杂的清洗动作流程及监控移动速度，准确并确实完成编程中设定的每道清洗动作及流程，其中附加的清洗之大数据收集分析功能，可由计算机更精准判断清洗质量，可以有效取代人员操作失误直接造成之有非常准确地控制各阶段清洗质量，稳定清洗产能及稳定清洗质量。

2、本实用新型利用传感器及电磁阀控制以进行清洗液之自动补液及换液，在各阶段清洗及换液排液过程中均由计算机控制执行完成，以高度自动化程序取代人员操作，可以有效避免危险清洗液对人体的危害，同时全程可远程监控及报警提醒通知功能，当清洗设备发生故障可实时发讯号透过远程终端接受通知，并进行远程操控。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的自动清洗设备结构示意图。