[实用新型]一种精密位移传感器

说明书

本实用新型涉及一种精密位移传感器，其位移传感器包括至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束；所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜二，或用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器二；所述反射镜二，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜一，或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器一。该传感器结构简单，测量精度高，便于批量生产。

技术领域

本实用新型涉及测量技术领域，具体涉及一种精密位移传感器。

背景技术

基于光学三角放大法的位移测量新原理，是在光学三角放大法的基础上，结合三角波光学器件与高精度PSD(Position Sensitive Device，位置灵敏(敏感)探测器)实现的。经过光学三角放大，水平小位移 t在光电探测器(PSD)上放大至T，可以将长度测量的精度大大提升。从而光学传感器成为了目前测量技术领域广泛应用的工具，而现有技术中的位移传感器，例如，申请号为201810782152.X，实用新型名称为《一种基于直角反射镜组的精密位移传感器及其测量方法》中提供的位移传感器，其传感器结构复杂，体积相对较大，成本相对较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种精密位移传感器。

为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种精密位移传感器，包括：

至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；

激光源，用于发射出激光束；

所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜二，或接收用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器二；

所述反射镜二，用于接收激光源射出激光束，且使激光束反射至反射镜一，或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器一；

所述光电探测器一，用于接收经反射镜二反射的激光束，并测量其入射位置；

所述光电探测器二，用于接收经反射镜一反射的激光束，并测量其入射位置；

所述激光束的光路为：依次经反射镜一、反射镜二反射后入射至光电探测器一，或依次经反射镜二、反射镜一反射后入射至光电探测器二；

所述光电探测器一与光电探测器二分别位于所述激光源相对立的两侧；

处理系统，用于根据光电探测器一、光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。

通过反射镜一或反射镜二对激光束进行反射，对被测物体的位移距离进行方便，便于对被测物体的位移量的计算，且通过光电探测器一与光电探测器二分别位于所述激光源相对立的两侧实现了位移传感器的连续测量。

在进一步的方案中，还包括第二反射镜组一、第二反射镜组二、所述第二反射镜组一包括反射镜三与反射镜四，所述第二反射镜组二包括反射镜五与反射镜六；所述第二反射组一与反射镜组二分别位于所述激光源相对立的两侧；

所述反射镜三，用于接收反射镜二反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜四；

所述反射镜四，用于接收反射镜三反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜二；

所述反射镜六，用于接收反射镜一反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜五；

所述反射镜五，用于接收反射镜六反射的激光束，并使得激光束反射至反射镜一；