[实用新型]自动化工作系统

说明书

本实用新型的自动化工作系统，包括工作站及主线搬送装置。工作站用以对待测基板进行工艺作业，且包括框架、支线轨道及两工艺设备。支线轨道连接框架。两工艺设备连接支线轨道，且可沿支线轨道移动，并用以执行工艺作业。主线搬送装置包括主轨道、第一搬送台及第二搬送台。主轨道连接工作站的框架，且穿过工作站的框架。主轨道位在支线轨道上方。第一搬送台及第二搬送台连接主轨道，且分别沿主轨道移动，并在空中搬送待测基板。第一搬送台搬送待测基板置两工艺设备。第二搬送台搬送待测基板离开两工艺设备。

技术领域

本实用新型涉及一咱工艺设备，特别涉及一种自动化工作系统。

背景技术

半导体及面板等工艺需要多种工艺设备来进行生产作业，每种工艺设备是用来执行对应的工艺作业，例如功能测试、外观检测、修补或其他工艺。

工艺作业时需要先将待测基板放置于对应的工艺设备，之后完成工艺作业后需再将待测基板搬离，而让下一个待测基板进行相同工艺作业，这样待测基板需等待一个完整工艺作业的时间，而发生较长地等待时间。

此外，目前半导体及面板等工艺都未考量各整体工艺之间的串联关系，导致各工艺作业都是在独自完成后，再送至下一个工艺作业，如此的作业方式是无法达成自动化作业。

实用新型内容

有鉴于上述缺失，本实用新型的目的在于提供一种自动化工作系统，其可有效率的搬送待测基板，以提高待测机板传送效率，并可有效串联各工艺作业所需的设备，来提高生产效率。

为达上述目的，本实用新型提供一种自动化工作系统，其包括：

一工作站，用以对待测基板进行一工艺作业，且包括一框架、一支线轨道及两工艺设备，该支线轨道连接该框架，该两工艺设备连接该支线轨道，且能够沿该支线轨道移动，并用以执行该工艺作业；及

一主线搬送装置，包括一主轨道、一第一搬送台及一第二搬送台，该主轨道连接该工作站的框架，且穿过该工作站的框架，该主轨道是位于该支线轨道上方，该第一搬送台及该第二搬送台连接该主轨道，且分别沿主轨道移动，并在空中搬送该待测基板，该第一搬送台搬送该待测基板至该两工艺设备，该第二搬送台搬送该待测基板离开该两工艺设备。

上述的自动化工作系统，其中该主轨道是位于该支线轨道上方是该主轨道与该支线轨道之间有足够空间让该两工艺设备、该第一搬送台及该第二搬送台通过。

上述的自动化工作系统，其中该第一搬送台包括一第一多轴运动单元及一第一转载单元，该第一多轴运动单元连接该主轨道及该第一转载单元，该第一转载单元随着第一多轴运动单元移动，且用以抓取及释放该待测基板；该第二搬送台包括一第二多轴运动单元及一第二转载单元，该第二多轴运动单元连接该主轨道及该第二转载单元，该第二转载单元随着第二多轴运动单元移动，且用以抓取及释放该待测基板。

上述的自动化工作系统，其中该两工艺设备是执行相同工艺作业。

上述的自动化工作系统，其中该支线轨道有一闲置区，该两工艺设备分别位于该闲置区的两相对侧，且分别能够暂停在该闲置区内，该第一搬送台在该闲置区释放该待测基板，该第二搬送台在该闲置区取走该待测基板。

上述的自动化工作系统，其中该闲置区位于该支线轨道的中间。

如此，入料及出料输送时可通过主线搬送装置来提高待测基板的输送效率。工作站数量可以是一个或一个以上，工作站的配置与主线搬送装置有关，而可藉由主线搬送装置及可往复移动的工艺设备来提高自动化能力。此外，主轨道是穿过工作站的框架，因此，本实用新型的自动化工作系统可通过主轨道串联连接更多工作站，以将待测基板传送至其他工作站。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明