[实用新型]一种晶圆背面边缘区清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于，包括：

可旋转承载台，位于晶圆中心下方，用于固定支撑及旋转所述晶圆；

喷嘴，设置于晶圆边缘区下方或所述晶圆外侧下方，用于向所述晶圆的背面边缘区喷射清洗液，以清洗所述晶圆的背面边缘区。

2.根据权利要求1所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：所述晶圆背面边缘区清洗设备包括多个所述喷嘴，且各所述喷嘴与水平面之间具有相同的夹角，各所述喷嘴与所述晶圆下表面之间具有相同的距离。

3.根据权利要求2所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：所述喷嘴数量介于3～5个之间，所述喷嘴沿所述晶圆半径方向排成一列。

4.根据权利要求3所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：所述喷嘴朝所述晶圆的内侧倾斜，所述喷嘴与水平面之间的夹角介于45度～60度之间。

5.根据权利要求3所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：位于最外侧的所述喷嘴在所述晶圆的投影范围之外，且与所述晶圆侧边的水平距离介于80mm～120mm之间。

6.根据权利要求5所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：位于最外侧的所述喷嘴与水平面之间的夹角C、位于最外侧的所述喷嘴与所述晶圆的侧边的水平距离B、位于最外侧的所述喷嘴与所述晶圆下表面之间的距离A之间的关系满足：tanC＝A/B。

7.根据权利要求1所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：所述清洗液的种类包括去离子水，所述清洗液的压强介于6MPa～10MPa之间，所述可旋转承载台的转速介于40rpm/sec～50rpm/sec之间。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的晶圆背面边缘区清洗设备，其特征在于：所述晶圆背面边缘区清洗设备还包括阀门和增压装置；其中，所述阀门连接所述喷嘴，以控制所述喷嘴的开关；所述增压装置连接清洗液源，并与所述阀门相连接，所述增压装置用于对所述清洗液进行增压处理。