[实用新型]F-θ物镜有效
申请号: | 201920036800.7 | 申请日: | 2019-01-09 |
公开(公告)号: | CN209560184U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 蒂姆·巴尔德希芬;乔治·文德利希 | 申请(专利权)人: | 业纳光学系统有限公司 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00;G02B26/10 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 德国耶拿市0*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 焦距 单透镜 物镜 总焦距 反射 凸透镜 高功率激光器 透镜 本实用新型 扫描仪位置 波长校正 光学表面 双凸透镜 凹透镜 | ||
1.一种F-θ物镜,其特征在于,该F-θ物镜包括三个单透镜,具有:作为平-凹透镜的具有焦距f1的第一单透镜L1、作为凹-凸透镜的具有焦距f2的第二单透镜L2、作为双凸透镜L3的具有焦距f3的第三单透镜L3,以及该F-θ物镜的总焦距f,其中这些焦距f1-f3与该总焦距f之比满足以下条件:
-1.0<f1/f<-0.8
-2.2<f2/f<-1.9
+0.3<f3/f<+0.6。
2.根据权利要求1所述的F-θ物镜,其特征在于,f1/f=-0.9、f2/f=-2.07、f3/f=+0.48。
3.根据权利要求2所述的F-θ物镜,其特征在于,该F-θ物镜的入射光瞳EP以30mm的间距d1位于该第一单透镜L1之前。
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