[实用新型]废硅泥再利用的处理设备

说明书

本实用新型提供一种废硅泥再利用的处理设备，主要设有供盛装废硅泥的载料盘，该载料盘置入于清洗装置内，将废硅泥进行清洗，该清洗装置依序设有一超音波清洗槽、一磁选反应槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，该磁选反应槽上设有一分散剂注入器，该酸洗槽上设有一酸剂注入器，一混合装置接续于该清洗装置，该混合装置上设有另一分散剂注入器，该混合装置设有一气氛泵，该混合装置由一喷料管连接至一高温反应室，该高温反应室由一输送管连接至一旋风集尘器，该旋风集尘器下方设有集料盘，该集料盘由一输送装置连接至一粒径分级装置，如此，经由该处理设备将废硅泥制成高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材，可使废硅泥资源化再利用。

技术领域

本实用新型涉及一种废硅泥再利用的处理设备，特别是指一种利用该处理设备可将废硅泥制成高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材。

背景技术

废硅泥来源为半导体或太阳能晶圆厂经切割或研磨制程产生，此类废硅泥一般不含切削油及碳化硅，其含液量大于80％，业界有许多回收处理废硅泥的方法，例如将硅泥干燥形成低纯度的硅粉、添加粘结剂，均匀混合后再压制成硅碇或是高温熔融后形成硅块；本实用新型的设备提供一种新的回收技术，所提纯的二氧化硅粉体可应用于工业填充材。

实用新型内容

本实用新型的目的，是在提供一种废硅泥再利用的处理设备，可将废硅泥再生为高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材使用。

本实用新型提供一种废硅泥再利用的处理设备，主要设有供盛装废硅泥的载料盘，该载料盘置入于清洗装置内，该清洗装置依序设有一超音波清洗槽、一磁选反应槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，该磁选反应槽上设有一分散剂注入器，该酸洗槽上设有一酸剂注入器，一混合装置接续于该清洗装置，该混合装置上设有另一分散剂注入器，该混合装置设有一气氛泵，该混合装置由一喷料管连接至一高温反应室，该高温反应室由一输送管连接至一旋风集尘器，该旋风集尘器下方设有集料盘，该集料盘由一输送装置连接至一粒径分级装置。

本实用新型废硅泥再利用的处理设备，其中，该高温反应室内的气体为氧气或空气。

本实用新型废硅泥再利用的处理设备，其优点在于：可简单且快速的将废硅泥再生为高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材使用，使废硅泥达到最佳的资源化再利用。

附图说明

图1所示是本实用新型实施例清洗设备的示意图。

图2所示是本实用新型实施例混合装置、高温反应室、旋风集尘器及粒径分级装置的示意图。

图3所示是本实用新型实施例的制作流程图。

附图标记说明：A废硅泥；A1泥浆；A2二氧化硅颗粒；A3二氧化硅粉粒；A4高纯度二氧化硅粉体；10载料盘；2清洗装置；20超音波清洗槽；21磁选反应槽；210分散剂注入器；22第一清洗槽；23酸洗槽；230酸剂注入器；24第二清洗槽；3混合装置；30分散剂注入器；31气氛泵；32喷料管；4高温反应室；40输送管；5旋风集尘器；6集料盘；7输送装置；8粒径分级装置。

具体实施方式

有关本实用新型为达上述的使用目的与功效，所采用的技术手段，兹举出较佳可行的实施例，并配合图式所示，详述如下：