[实用新型]一种真空镀膜设备拉爪专用夹具

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜设备拉爪专用夹具，包括夹具体和驱动系统，夹具体的下端与驱动系统连接；夹具体包括立柱和若干第一连杆，各个第一连杆的端部设有工件悬挂位，若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位，夹具体在不同高度均设置有工位；驱动系统包括行星齿轮系统，行星齿轮系统连接夹具体的下端，并带动夹具体自转以及公转。由于物件也能够自转和公转，所以该专用夹具能够让物件充分地接触离子束；同时若干个第一连杆分布在周向和不同高度，能充分提高专用夹具的装载量。此实用新型用于镀膜工艺领域。

技术领域

本实用新型涉及镀膜工艺领域，特别是涉及一种真空镀膜设备拉爪专用夹具。

背景技术

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在在真空环境下，将某种金属或金属化合物或非金属等以不同方式沉积到目标材料表面，以形成一种具有不同特性的保护涂层，满足不同行业的应用。

本公司使用了过滤电弧真空镀膜技术(DCVA)，是指在真空条件下，采用低电压大电流的电弧放电使靶材离化，产生出离子、电子和熔化颗粒。大颗粒的离子和电子会在过滤弯管的引导下被过滤出去，只需要小颗粒的离子附着到工件上。为了让拉爪能够均匀接受离子束，需要合理设置专用夹具，以便拉爪能够全方位地处于离子束的有效覆盖区内。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能充分引导拉爪均匀暴露在离子束的有效覆盖区内且装载量大的真空镀膜设备拉爪专用夹具。

本实用新型所采取的技术方案是：

一种真空镀膜设备拉爪专用夹具，包括夹具体和驱动系统，夹具体的下端与驱动系统连接；夹具体包括立柱和若干第一连杆，各个第一连杆的端部设有工件悬挂位，若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位，夹具体在不同高度均设置有工位；驱动系统上设有行星齿轮系统，行星齿轮系统连接夹具体的下端，并带动夹具体自转以及公转。

作为上述方案的改进，工件悬挂位包括与第一连杆连接的第二连杆，第二连杆的尺寸小于第一连杆的尺寸。

作为上述方案的改进，第一连杆和第二连杆均为圆柱体，第二连杆与第一连杆的过渡位置为斜坡。

作为上述方案的改进，立柱与行星齿轮系统之间采用孔轴连接方式连接。

作为上述方案的改进，孔为多边形，所述轴为适应孔尺寸的多边形。

作为上述方案的改进，立柱的下端设有底板，立柱的下端设置孔，行星齿轮系统设置输出转轴，输出转轴插入孔。

作为上述方案的改进，行星齿轮系统既包括主轴、转盘、大齿轮、自转轴、转座和从动齿轮，转盘和大齿轮固定在主轴上，转座固定在转盘上，自转轴与从动齿轮固定连接同时穿过转座，大齿轮啮合从动齿轮，自转轴在转座内自旋同时围绕主轴公转。

作为上述方案的改进，自转轴上设有卫星盘，自转轴插入夹具体内完成固定，卫星盘托住夹具体的下端。

本实用新型的有益效果：此专用夹具利用第一连杆或第二连杆来悬挂物件。由于夹具体连接的是行星齿轮系统，所以夹具体能够自转和公转，夹具体上的每一个位置上的拉爪都能够靠近和正对离子束，专用夹具中的每一个夹具体也能够交替靠近离子束，在此基础上，拉爪均能充分接触离子束，拉爪的镀膜质量均匀；此外夹具体可以最大限度装载拉爪，生产效率高。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1是夹具体第一种状态的立体图；

图2是夹具体第二种状态的立体图；

图3是专用夹具的剖视图；

图4是专用夹具的立体图。