[实用新型]一种搅拌装置

说明书

本实用新型公开了一种搅拌装置，包括电动旋转台、搅拌环和套筒，搅拌环和套筒均为上下敞开的中空筒状结构，电动旋转台的中心设有贯通的内孔，套筒安装在电动旋转台的上表面，搅拌环通过多组连接杆悬挂在电动旋转台的下表面，搅拌环、套筒与内孔三者的中心轴为共线；搅拌环包括中空筒状的环体、多组均匀竖立置于环体内壁的叶片，叶片截面为类八字结构，该类八字结构由对称式的两瓣弧形相切形成。本实用新型置于导流筒和单晶炉坩埚之间，采用中空筒状的搅拌环作为搅拌主体，对上端位置的溶化硅料进行搅拌，加速氧量流动，有效避免了单晶头部氧含量偏高的问题，同时环状结构不会影响惰性气体流量大小、坩埚的反应速度、单晶硅棒拉制效率。

技术领域

本实用新型属于单晶硅制造设备技术领域，具体涉及一种搅拌装置。

背景技术

在单晶硅直拉法生长工序中，在拉制硅棒之前对完全反应溶化的硅料进行搅拌，能够加速化料完成后溶硅中氧的挥发，降低晶体头部氧含量，解单晶头部氧含量偏高的问题，常规的由转轴和叶片组成的搅拌装置需要悬挂置于坩埚中部，该结构对惰性气体流动、炉内热场热量对流以及拉制硅棒过程造成不利影响。

实用新型内容

针对现有技术中的不足与难题，本实用新型旨在提供一种搅拌装置。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种搅拌装置，包括电动旋转台、搅拌环和套筒，搅拌环和套筒均为上下敞开的中空筒状结构，电动旋转台的中心设有贯通的内孔，套筒安装在电动旋转台的上表面，搅拌环通过多组连接杆悬挂在电动旋转台的下表面，搅拌环、套筒与内孔三者的中心轴为共线，电动旋转台上还有用于为其提供驱动动力的驱动器；搅拌环包括中空筒状的环体、多组均匀竖立置于环体内壁的叶片，叶片截面为类八字结构，该类八字结构由对称式的两瓣弧形相切形成。

进一步地，叶片的径向厚度为环体内径的1/10-1/20。

进一步地，叶片两瓣弧形的相切线与环体内径线共线。

进一步地，叶片的数量为4-10组。

进一步地，环体的外壁环绕凸起的外齿，外齿的截面为波浪形结构。

与现有技术相比，本实用新型有益效果包括：

(1)本实用新型的搅拌装置置于导流筒和单晶炉坩埚之间，采用中空筒状的搅拌环作为搅拌主体，其置于单晶炉坩埚内上端位置，对其内的溶化硅料进行搅拌，对周边的溶化硅料进一步搅拌，加速氧量流动，有效避免了单晶头部氧含量偏高的问题，同时环状结构不会影响惰性气体流量大小、坩埚的反应速度、单晶硅棒拉制效率。

(2)本实用新型还可带动导流筒转动，加速引导惰性气体旋转式流入，更加有利于导流筒控制轴向温度梯度。

(3)本实用新型在搅拌环内均匀设置类八字结构的叶片，进一步提高搅拌效率，同时对称结构在搅拌同时不会造成硅棒拉制的质量偏心。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中搅拌环的俯视图。

图示说明：1-电动旋转台，2-驱动器，3-套筒，4-搅拌环，401-环体，402-叶片，403-外齿，5-连接杆，6-内孔。