[实用新型]一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构有效
申请号: | 201920051079.9 | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN209602626U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 陈清胜;赵锐 | 申请(专利权)人: | 四川海格锐特科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 邹敏菲 |
地址: | 610000 四川省成都市龙泉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 主辊 带材 蒸发源 镀膜 绕卷 传递系统 镀膜设备 卷绕系统 双面蒸镀 一次性 真空室 工位 汽化 往返 本实用新型 传递路径 双面镀膜 镀材料 放卷轮 收卷轮 贴合 加热 | ||
1.一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,包括真空室(5)及设置于真空室(5)内的镀膜部件,其特征在于,所述镀膜部件包括两个传递组件(6)及与传递组件(6)匹配的两套蒸发源(3),每个传递组件(6)包括一个绕卷轮(1)与一个主辊(2);
在本设备工作时,两个传递组件(6)的绕卷轮(1)中,其中一个作为收卷轮,另一个作为放卷轮;
在带材传递路径上,两个传递组件(6)的主辊(2)位于两个绕卷轮(1)之间,且两个主辊(2)中,其中一个主辊(2)与带材的其中一面作用,另一个主辊(2)与带材的另一面作用;
两套蒸发源(3)均用于汽化待镀材料,且一套蒸发源(3)与一个主辊(2)组成一个镀膜工位;
在任意镀膜工位上,通过蒸发源(3)加热所得的气相作用于与主辊(2)贴合的带材段上。
2.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述两个传递组件(6)上下排布,即所述两个传递组件(6)具有高度差。
3.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述其中一个传递组件(6)位于另一个传递组件(6)的上方。
4.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:在任意镀膜工位上,蒸发源(3)位于主辊(2)的正下方。
5.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括与真空室(5)相连的真空系统,所述真空系统用于对真空室(5)进行抽真空处理,所述真空系统包括管路及连接在管路上的多个真空获得装置,所述真空获得装置包括机械泵、罗茨泵及扩散泵,所述机械泵作为扩散泵的前级泵,所述罗茨泵设置于机械泵与扩散泵之间。
6.根据权利要求5所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括用于测量真空室(5)真空度的真空测量计。
7.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括送丝机构,所述送丝机构用于向蒸发源(3)提供待汽化的待镀材料。
8.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述带材传递系统还包括展平辊(4),沿着带材传递路径,所述展平辊(4)设置于两绕卷轮(1)之间。
9.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括用于对本设备进行降温的冷却系统。
10.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述蒸发源(3)采用蒸发舟,所述蒸发舟的材质为钼或钨钼合金。
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