[实用新型]一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构有效

专利信息
申请号: 201920051079.9 申请日: 2019-01-11
公开(公告)号: CN209602626U 公开(公告)日: 2019-11-08
发明(设计)人: 陈清胜;赵锐 申请(专利权)人: 四川海格锐特科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 邹敏菲
地址: 610000 四川省成都市龙泉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 主辊 带材 蒸发源 镀膜 绕卷 传递系统 镀膜设备 卷绕系统 双面蒸镀 一次性 真空室 工位 汽化 往返 本实用新型 传递路径 双面镀膜 镀材料 放卷轮 收卷轮 贴合 加热
【权利要求书】:

1.一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,包括真空室(5)及设置于真空室(5)内的镀膜部件,其特征在于,所述镀膜部件包括两个传递组件(6)及与传递组件(6)匹配的两套蒸发源(3),每个传递组件(6)包括一个绕卷轮(1)与一个主辊(2);

在本设备工作时,两个传递组件(6)的绕卷轮(1)中,其中一个作为收卷轮,另一个作为放卷轮;

在带材传递路径上,两个传递组件(6)的主辊(2)位于两个绕卷轮(1)之间,且两个主辊(2)中,其中一个主辊(2)与带材的其中一面作用,另一个主辊(2)与带材的另一面作用;

两套蒸发源(3)均用于汽化待镀材料,且一套蒸发源(3)与一个主辊(2)组成一个镀膜工位;

在任意镀膜工位上,通过蒸发源(3)加热所得的气相作用于与主辊(2)贴合的带材段上。

2.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述两个传递组件(6)上下排布,即所述两个传递组件(6)具有高度差。

3.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述其中一个传递组件(6)位于另一个传递组件(6)的上方。

4.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:在任意镀膜工位上,蒸发源(3)位于主辊(2)的正下方。

5.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括与真空室(5)相连的真空系统,所述真空系统用于对真空室(5)进行抽真空处理,所述真空系统包括管路及连接在管路上的多个真空获得装置,所述真空获得装置包括机械泵、罗茨泵及扩散泵,所述机械泵作为扩散泵的前级泵,所述罗茨泵设置于机械泵与扩散泵之间。

6.根据权利要求5所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括用于测量真空室(5)真空度的真空测量计。

7.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括送丝机构,所述送丝机构用于向蒸发源(3)提供待汽化的待镀材料。

8.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述带材传递系统还包括展平辊(4),沿着带材传递路径,所述展平辊(4)设置于两绕卷轮(1)之间。

9.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:还包括用于对本设备进行降温的冷却系统。

10.根据权利要求1所述的一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构,其特征在于:所述蒸发源(3)采用蒸发舟,所述蒸发舟的材质为钼或钨钼合金。

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