[实用新型]集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置

说明书

本实用新型提供了集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置，包括1台或多台简易检测单元，所述简易检测单元包括底盘，以及安装在底盘上用于固定stick组件的固定座、滑动座、快速夹具和夹紧气缸，底盘的表层设有多个安装槽和2条导轨，所述安装槽中安装待检测的stick组件，底盘的底面安装有控制氦检抽气的氦检口阀门、控制氮气进入的氮气进口阀，以及用于保压之后排出氮气的氮气出口阀。本实用新型集保压和氦气检漏于一体，且可根据需要检测的stick数量和效率情况，选择多个检测口，或选择多台简易检测单元串联，同时对多个stick进行检测，具有节省测试时间，提高工作效率，降低人工成本等优点。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体地，涉及集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。在半导体、光伏相关产业常用的制程中，在一些非高精度要求的前提下，需要大量使用stick，stick称为调压阀组，或特气使用终端，主要用于半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体的设备上，满足工艺机台对流体的使用要求。传统的stick检测方式只能一个一个单独检测，而在需要检测的stick数量非常多的情况下，必然所需的测试的时间非常长，用工成本太高，这急需研发一种可对多个stick同时检测的设备来提高工作效率。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置，本实用新型集保压和氦气检漏于一体，且可根据需要检测的stick数量和效率情况，选择多个检测口，或选择多台简易检测单元串联，同时对多个stick进行检测，具有节省测试时间，提高工作效率，降低人工成本等优点。

根据本实用新型的一个方面，提供集保压和氦气检漏于一体的简易检测装置，包括1台或多台简易检测单元，所述简易检测单元包括作为整台装置的基准台面的底盘(1)，所述底盘(1)的表层设有多个安装槽和2条导轨，所述安装槽中安装待检测的stick组件(2)，所述安装槽的后端设有控制stick组件(2)安装到位的固定座(3)，其前端设有夹紧stick组件(2)的前后口的滑动座(4)，所述滑动座(4)的前侧壁设有推动其移动的快速夹具(5)，所述底盘(1)的底层还设有多个用于夹紧stick组件(2)的表口的夹紧气缸(6)，所述夹紧气缸(6)与stick组件(2)一一对应；所述夹紧气缸(6)采用双动型压缩空气式夹紧气缸；

所述stick组件(2)的进出口连接的输气支管分别连接到进气主管和输气主管(13)上，所述输气主管(13)上安装有用于查看测试后整个管路压力的压力表(10)；

所述底盘(1)的底面安装有氦检口阀门(7)、氮气进口阀(8)和氮气出口阀(9)，分别朝向不同的三个方向，所述氦检口阀门(7)与输气主管(13)连接，控制氦检抽气，所述氮气进口阀(8)与进气主管的一端连接，控制氮气的进入，所述氮气出口阀(9)与进气主管的另一端连接，用于保压之后排出氮气或者连接另一个简易检测单元。

优选的，所述简易检测单元通过两个相邻简易检测单元的氮气出口阀(9)和氮气进口阀(8)进行串联连接组合。可根据需要检测的stick数量和效率情况，选择多个检测口，或选择多台检测装置串联使用。

优选的，所述stick组件(2)和夹紧气缸(6)均设有5组。

优选的，所述滑动座(4)呈矩形结构，其底部的两端分别设置有1个与导轨配合滑动的滑动块。

优选的，所述快速夹具(5)设有2组，分别设置在推动滑动座(4)的两端，通过扳动把手推动滑动座(4)夹紧stick组件(2)的前后口。

优选的，所述stick组件(2)的前后口与固定座(3)和滑动座(4)之间的间隙处设置有第一密封圈密封。