[实用新型]一种真空镀膜设备样品台有效
| 申请号： | 201920051960.9 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN209493628U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 孙连仲 | 申请（专利权）人： | 沈阳美济真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 台架 磁耦合组件 六角头螺栓 电动挡板 固定杆 装配架 轴承 真空镀膜设备 样品炉 左端 本实用新型 旋转稳定性 便于拆装 活动连接 密封形式 使用寿命 稳定性强 制造成本 传统的 磁耦合 样品台 上端 下端 转架 转动 舍弃 | ||
1.一种真空镀膜设备样品台，包括台架(1)，其特征在于：所述台架(1)上设置有第一六角头螺栓(2)、电动挡板装配架(3)、固定杆(4)和轴承磁耦合组件(5)，所述第一六角头螺栓(2)固定连接在所述台架(1)的左端，所述电动挡板装配架(3)固定连接在所述台架(1)的上端，所述固定杆(4)固定连接在所述台架(1)的下端，所述轴承磁耦合组件(5)活动连接在所述台架(1)的左端，所述电动挡板装配架(3)上设置有第二六角头螺栓(6)，所述固定杆(4)的下方设置有样品炉(7)，所述样品炉(7)的下方设置有样品转架(8)，所述样品转架(8)的下方设置有挡板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备样品台，其特征在于：所述第一六角头螺栓(2)的型号为M8*40，所述第一六角头螺栓(2)通过螺纹与所述台架(1)的内部相连接，所述电动挡板装配架(3)通过铆钉与所述台架(1)的上表面相连接，所述第二六角头螺栓(6)的型号为M8*35。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备样品台，其特征在于：所述固定杆(4)的上端通过螺纹与所述台架(1)的下端相连接，所述固定杆(4)的下端通过铆钉与所述样品炉(7)相连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备样品台，其特征在于：所述轴承磁耦合组件(5)穿过所述台架(1)的内部，并且与所述挡板(9)相连接，所述挡板(9)位于所述样品炉(7)外部的底部。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备样品台，其特征在于：所述样品转架(8)通过铆钉与所述样品炉(7)内部的底部相连接，所述样品转架(8)采用合金钢的材质制作。
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