[实用新型]晶圆加工工艺中的传输装置

权利要求书

1.一种晶圆加工工艺中的传输装置，其特征在于，包括：传输座和机械臂，所述传输座支撑和驱动所述机械臂移动，所述机械臂的末端安装有至少一个伯努利原理吸盘，所述机械臂利用所述伯努利原理吸盘将晶圆吸附固定和移动；

所述伯努利原理吸盘包括一个吸盘本体和吸盘芯，所述吸盘本体包括上部的结合部和下部的扩盘部，在所述吸盘本体中央设有一个竖直延伸的通孔，所述通孔的上部内壁设有内螺纹，所述通孔的呈渐扩状，构成第一导气弧面；

所述吸盘芯中间为空心管体，所述空心管体包括第一端、连接部和第二端，所述第一端设有进气口，所述连接部设有外螺纹，所述第二端为外扩形的封闭端；所述吸盘芯穿接在所述吸盘本体中间，借助外螺纹与内螺纹螺纹结合，所述第一端伸出所述通孔上方，所述第二端在所述通孔下方；

其中，所述第二端与连接部之间以圆弧面连接，所述圆弧面构成第二导气弧面，在所述第二导气弧面上环向设有若干连通所述空心管体的出气孔，所述第一导气弧面与第二导气弧面形成排气缝，所述出气孔连通所述排气缝。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工工艺中的传输装置，其特征在于，在所述外螺纹或内螺纹上设有一层密封胶膜，增强气密性。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工工艺中的传输装置，其特征在于，所述机械臂的末端设有一个C形腔体，在所述C形腔体的表面分布有多个伯努利原理吸盘；在所述C形腔体内分布有通气管线，通气管线的一端与高压气源连接，另一端与所述伯努利原理吸盘的进气口以快拆接头连接；所述吸盘本体的结合部外周设有翅片，借助所述翅片与所述C形腔体表面以螺栓连接。

4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆加工工艺中的传输装置，其特征在于，所述扩盘部的底面粘贴结合有柔性的硅胶垫片，所述硅胶垫片呈圆环状，沿着所述扩盘部的靠近外周的位置粘贴结合，所述硅胶垫片下表面设有若干辐射状分布的柔性导气鳍片，各柔性导气鳍片之间有导气通道。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆加工工艺中的传输装置，其特征在于，所述机械臂为可翻转式结构，其包括与传输座连接的连接臂、与连接臂连接的翻转臂、设有所述C形腔体的机械手；所述连接臂内部设为空腔，所述空腔内安装有步进电机；所述翻转臂的一端插入所述空腔，并与所述步进电机耦接；所述翻转臂的另一端与所述机械手在转动方向上固定连接。