[实用新型]硅片制绒系统

权利要求书

1.一种硅片制绒系统，其特征在于，包括：

清洗装置，用于去除硅片表面污染；

承载装置，用于承载所述硅片；

加热装置，用于对所述硅片进行加热；

传输装置，与加热装置连通，所述承载装置放置于所述传输装置，在需要对所述硅片加热时用于将所述承载装置送入所述加热装置，在加热结束后，用于将所述承载装置取出加热装置；

制绒装置，用于对经过加热后的所述硅片进行制绒。

2.根据权利要求1所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述清洗装置包括：

混合酸溶液，包括盐酸和氢氟酸，用于清洗所述硅片表面的污染。

3.根据权利要求1所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述承载装置包括：

腔体；

支撑架，包括第一支撑板与第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板垂直连接。

4.根据权利要求3所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述腔体为长方体空腔，具有一个开口，所述腔体包括：

第一底板；

第二底板，与所述第一底板相对设置；

第一侧板，与所述开口相对设置，且与所述第一底板以及第二底板垂直连接；

两个第二侧板，与所述第一侧板、第一底板以及第二底板垂直连接。

5.根据权利要求4所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述第一支撑板以及所述第二支撑板设于所述两个第二侧板之间，且与所述第二侧板垂直设置；所述第一支撑板与所述第一侧板之间具有第一预设角度。

6.根据权利要求1所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述加热装置包括：

石英管；

加热器，设于所述石英管外部，用于对所述石英管加热；

第一温度控制器，与所述加热器连接以及所述石英管连接，用于控制加热器使得石英管内部温度在误差范围内处于恒温；

氮气保护结构，与所述石英管连接。

7.根据权利要求6所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述温度误差范围为±2摄氏度。

8.根据权利要求6所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述传输装置包括：

传输带；穿过所述石英管；

传输电机；与所述传输带连接，用于驱动所述传输带；

传输控制器，与所述传输电机连接，用于控制传输电机的启停。

9.根据权利要求1所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述制绒装置包括：

反应容器；

第二温度控制器，与所述反应容器连接，用于将所述反应容器内的温度控制在预设温度范围；

制绒液，设于所述反应容器内，用于与所述硅片进行反应，完成制绒。

10.根据权利要求9所述的硅片制绒系统，其特征在于，所述预设温度范围为大于等于60摄氏度小于等于80摄氏度。