[实用新型]结构照明成像系统

权利要求书

1.一种结构照明成像系统，其特征是，所述结构照明成像系统包括：

第一光学臂，其包括：

第一光发射器，其发射光；以及

第一分束器，其分离由所述第一光发射器发射的光以将第一多个条纹投射在样品的平面上；

第二光学臂，其包括：

第二光发射器，其发射光；以及

第二分束器，其分离由所述第二光发射器发射的光以将第二多个条纹投射在所述样品的平面上；以及

光学元件，其组合所述第一光学臂和所述第二光学臂的光路。

2.根据权利要求1所述的结构照明成像系统，其中所述第一分束器包括第一透射式衍射光栅，以及所述第二分束器包括第二透射式衍射光栅。

3.根据权利要求2所述的结构照明成像系统，其中所述第一光发射器和所述第二光发射器发射非偏振光，并且其中所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅使由所述第一光发射器和所述第二光发射器中的相应光发射器发射的非偏振光衍射。

4.根据权利要求2所述的结构照明成像系统，其中组合所述第一多个条纹和所述第二多个条纹的光路的所述光学元件包括具有孔的反射镜，其中所述反射镜被布置成反射由所述第一透射式衍射光栅衍射的光，并且所述孔被布置成使由所述第二透射式衍射光栅衍射的至少第一级光穿过。

5.根据权利要求4所述的结构照明成像系统，其中，所述结构照明成像系统还包括使所述第一多个条纹和所述第二多个条纹相移的一个或更多个光学元件。

6.根据权利要求5所述的结构照明成像系统，其中使所述第一多个条纹和所述第二多个条纹相移的所述一个或更多个光学元件包括使所述第一多个条纹相移的第一旋转光学窗口和使所述第二多个条纹相移的第二旋转光学窗口。

7.根据权利要求5所述的结构照明成像系统，其中使所述第一多个条纹和所述第二多个条纹相移的所述一个或更多个光学元件包括平移所述第一透射式衍射光栅的第一线性运动台和平移所述第二透射式衍射光栅的第二线性运动台。

8.根据权利要求5所述的结构照明成像系统，其中使所述第一多个条纹和所述第二多个条纹相移的所述一个或更多个光学元件包括单个旋转光学窗口，其中所述单个旋转光学窗口在到所述样品的光路中位于具有孔的所述反射镜之后。

9.根据权利要求8所述的结构照明成像系统，其中所述单个旋转光学窗口的旋转轴从所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅中的每一个光栅的光轴偏移约45度。

10.根据权利要求5所述的结构照明成像系统，其中所述第一多个条纹在所述样品的平面上从所述第二多个条纹成角度地偏移约90度。

11.根据权利要求10所述的结构照明成像系统，其中所述样品包括以矩形阵列或六边形阵列有规则地图样化的多个特征。

12.根据权利要求5所述的结构照明成像系统，其中，所述结构照明成像系统还包括：将所述第一多个条纹和所述第二多个条纹中的每一个投射在所述样品上的物镜。

13.根据权利要求5所述的结构照明成像系统，其中，所述结构照明成像系统还包括：用于阻挡由所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅中的每一个发射的零级光的一个或更多个光束阻挡器。

14.根据权利要求13所述的结构照明成像系统，其中所述一个或更多个光束阻挡器包括布拉格光栅。

15.根据权利要求2所述的结构照明成像系统，其中组合所述第一光学臂和所述第二光学臂的光路的所述光学元件包括偏振分束器，其中所述第一透射式衍射光栅使垂直偏振光衍射，并且其中所述第二透射式衍射光栅使水平偏振光衍射。