[实用新型]一种用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置有效
申请号: | 201920059755.7 | 申请日: | 2019-01-15 |
公开(公告)号: | CN209714731U | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 苗润昌 | 申请(专利权)人: | 广州德雅新环境科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/68;C23F1/46 |
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地址: | 523000 广东省广州市白云区石*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 酸雾吸收 废气吸收装置 循环再生系统 本实用新型 气液混合槽 酸性蚀刻液 废气吸收 流通管 机台 堆叠设置 氯气 混合槽 水泵 废气 吸收 污染 | ||
1.一种用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,包括一机台、及设置于机台上的若干废气吸收机构,其特征在于,所述废气吸收机构包括设置于机台上的一气液混合槽、一上酸雾吸收室、堆叠设置上酸雾吸收室下端的一下酸雾吸收室、连接于气液混合槽与上酸雾吸收室之间的一液体上流通管、连接于气液混合槽的一水泵、及连接于上酸雾吸收室与下酸雾吸收室之间的一液体下流通管。
2.根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述上酸雾吸收室与下酸雾吸收室结构相同,分别包括一喷淋腔、设置于喷淋腔内上部的一喷淋机构、及设置于喷淋腔内且位于喷淋机构下方的若干支撑机构。
3.根据权利要求2所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述喷淋机构包括一喷淋盘体、均匀设置于喷淋盘体下端面边缘的若干实心圆锥喷嘴,其中,在该喷淋盘体内设置有一液体容置腔,该若干实心圆锥喷嘴与液体容置腔相连通。
4.根据权利要求2所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述支撑机构包括为一支撑框体、及设置于支撑框体内底部的一倾斜板,且该支撑框体与倾斜板均为网状结构。
5.根据权利要求4所述的用于酸性蚀刻液循环再生系统的废气吸收装置,其特征在于,所述支撑框体底部向上凹设有一凹槽,使该支撑框体底部与喷淋腔内底部之间形成一流动缝隙。
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