[实用新型]在线式双通道微波功率传感器

权利要求书

1.在线式双通道微波功率传感器，包括衬底、地线、共面波导传输线、电容极板、敏感元件、悬臂梁，其特征在于：

所述地线设置于衬底上表面的两侧，所述共面波导传输线平行于两侧的地线，设置在衬底上表面中部；

所述敏感元件嵌入衬底中，并位于共面波导传输线的中部下方；

所述敏感元件下方设有一层金属薄膜，其嵌入衬底中，并与共面波导传输线相平行；

所述悬臂梁通过锚区设置在一侧地线上，悬于所述敏感元件上方；

所述电容极板位于悬臂梁下方，并位于所述地线和共面波导传输线之间。

2.根据权利要求1所述的在线式双通道微波功率传感器，其特征在于：所述衬底的材质为砷化镓。

3.根据权利要求1所述的在线式双通道微波功率传感器，其特征在于：所述电容极板当微波信号进入时，会产生静电力使悬臂梁弯曲，从而导致悬臂梁与下方电容极板的距离发生变化，最终使得电容发生变化，通过测量电容的改变量即可算出微波功率。

4.根据权利要求1所述的在线式双通道微波功率传感器，其特征在于：所述敏感元件由硅制成，当微波信号进入共面波导传输线的时候，会加热硅制敏感元件内部的电子，电子的热运动状态发生变化时会引起材料本身的阻值发生变化，通过测量阻值的变化量即可得到微波功率。

5.根据权利要求1所述的在线式双通道微波功率传感器，其特征在于：所述微波功率传感器，通过两种通道进行不同微波功率信号的测量，当功率信号小于1W时通过电容极板和悬梁臂形成的电容器进行测量，当功率信号在1W~100KW时通过敏感元件进行测量。